J 2002

Study of mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

ZAJÍČKOVÁ, Lenka; Pavel DVOŘÁK; Vít KUDRLE a Radek ŠMÍD

Základní údaje

Originální název

Study of mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

Autoři

Vydání

Czech. J. Phys. Praha, IOP AS CR, 2002, 0011-4626

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 0.311

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/02:00007188

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

Klíčová slova anglicky

RF discharge; mode transition; sheath

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 27. 4. 2013 11:28, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Anotace

V originále

We have studied the mode transition in low pressure capacitive RF discharges in nitrogen

Návaznosti

GP202/01/P106, projekt VaV
Název: Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
Investor: Grantová agentura ČR, Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
OC 527.20, projekt VaV
Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů

Přiložené soubory

124_1.pdf Verze souboru