D 2002

Mode Transition in Low-pressure RF Capacitive Discharge in Nitrogen

DVOŘÁK, Pavel a Lenka ZAJÍČKOVÁ

Základní údaje

Originální název

Mode Transition in Low-pressure RF Capacitive Discharge in Nitrogen

Autoři

DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant) a Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika)

Vydání

Lausanne, Switzerland, Europhysics Conference Abstracts 26B, od s. P1.006, 4 s. 2002

Nakladatel

European Physical Society (EPS)

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Švýcarsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/02:00008257

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

2-914771-02-9

Klíčová slova anglicky

discharge modes plasma nitrogen

Štítky

Změněno: 29. 10. 2003 09:32, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Anotace

V originále

Two different plasma modes of capacitive coupled rf discharge in pure nitrogen were studied. the modes differed significantly in a visual appearance, plasma potential and in the shape of the electron energy distribution function. For the plasma diagnostics we used Langmuir probe, Plasma Process Monitor, optical emission spectroscopy and we carried out electrical measurements on reactor with the discharge.

Návaznosti

GA202/00/P037, projekt VaV
Název: Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek