D 2003

Plasma Deposition of Diamond-Like Protective Coating with Silicon Oxide Content

DVOŘÁK, Pavel; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Vilma BURŠÍKOVÁ; Miroslav VALTR; J. HOUDKOVÁ et al.

Základní údaje

Originální název

Plasma Deposition of Diamond-Like Protective Coating with Silicon Oxide Content

Autoři

DVOŘÁK, Pavel; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Vilma BURŠÍKOVÁ; Miroslav VALTR; J. HOUDKOVÁ; V. PEŘINA a A. MACKOVÁ

Vydání

San Francisco, 46th Annual SVC Technical Conference Proceedings, od s. 23-27, 5 s. 2003

Nakladatel

Society of Vacuum Coaters (SVC)

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Spojené státy

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14330/03:00009027

Organizační jednotka

Fakulta informatiky

ISBN

0737-5921

Klíčová slova anglicky

Wear/abrasion-resistant coatings; Plasma enhanced CVD; Stability properties; Residual film stress

Štítky

Změněno: 29. 5. 2004 18:29, RNDr. JUDr. Vladimír Šmíd, CSc.

Anotace

V originále

Amorphous diamond-like carbon films with various silicon and oxygen content were deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition technique. The films were prepared from the mixture of methane and hexamethyldisiloxane in rf capacitively coupled discharges. The optimum SiOx percentage in the DLC network at which the thermo-mechanical stability of the DLC films was improved was determined.

Návaznosti

ME 489, projekt VaV
Název: Studium reaktivity organosilikonových monomerů v depozičním plazmatu
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek