D 2003

Mode transition in r.f. capacitive discharge in hydrogen

DVOŘÁK, Pavel; Lenka ZAJÍČKOVÁ a Jan JANČA

Základní údaje

Originální název

Mode transition in r.f. capacitive discharge in hydrogen

Autoři

Vydání

Greifswald, Proceedings of 26th ICPIG, od s. 1-2, 2 s. 2003

Nakladatel

Greifswald

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Německo

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14330/03:00009028

Organizační jednotka

Fakulta informatiky

Klíčová slova anglicky

rf capacitive discharges; mode transition; hydrogen

Štítky

Změněno: 29. 5. 2004 18:37, RNDr. JUDr. Vladimír Šmíd, CSc.

Anotace

V originále

We have studied low-pressure capacitively coupled rf discharges in hydrogen. Two different discharge modes were observed. These two modes differ significantly in the plasma potential and in the nature of sheaths. For diagnostic purposes the Plasma Process Monitor, optical emission spectroscopy and Lamgmuir probe were used.

Návaznosti

MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek