Effect of the Discharge Conditions on the Mechanical Properties of the Plasma Deposited DLC:SiOx Films

BURŠÍKOVÁ, Vilma; Pavel DVOŘÁK; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Petr KLAPETEK; Jiří BURŠÍK a Jan JANČA. Effect of the Discharge Conditions on the Mechanical Properties of the Plasma Deposited DLC:SiOx Films. In Proceedings of SAPP XIV. Bratislava, Slovak Republic: Pavol Šutta, Jarmila Mullerová, and Róbert Brunner, 2003, s. 197-198. ISBN 80-8040-195-0.

Základní údaje

Originální název

Effect of the Discharge Conditions on the Mechanical Properties of the Plasma Deposited DLC:SiOx Films

Autoři

BURŠÍKOVÁ, Vilma; Pavel DVOŘÁK; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Petr KLAPETEK; Jiří BURŠÍK a Jan JANČA

Vydání

Bratislava, Slovak Republic, Proceedings of SAPP XIV, od s. 197-198, 2 s. 2003

Nakladatel

Pavol Šutta, Jarmila Mullerová, and Róbert Brunner

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/03:00008312

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-8040-195-0

Klíčová slova anglicky

discharge conditions; mechanical properties; plasma deposited films

Štítky

discharge conditions, mechanical properties, plasma deposited films

---

Anotace

V originále

Hard diamond like carbon films with insorporation of SiOx were deposited from mixture of methane and HMDSO. The Hardness, elastic modulus, interfacial fracture toughness and their dependence on the HMSDO to methane ratio were studied. The correlation between the discharge parameters and the film properties was determined.

---

Návaznosti

GA202/01/1110, projekt VaV	Název: Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou Investor: Grantová agentura ČR, Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou
ME 489, projekt VaV	Název: Studium reaktivity organosilikonových monomerů v depozičním plazmatu
MSM 143100003, záměr	Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
OC 527.20, projekt VaV	Název: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů