D 2003

Film deposition in Parallel Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons

BIBINOV, Nikita; Vít KUDRLE; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Zoltan DONKO; Klaus WIESEMANN et al.

Základní údaje

Originální název

Film deposition in Parallel Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons

Autoři

BIBINOV, Nikita; Vít KUDRLE; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Zoltan DONKO a Klaus WIESEMANN

Vydání

Taormina, Proceedings of ISPC 14, s. 806-809, 2003

Nakladatel

Universita di Bari

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Itálie

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/03:00008476

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

PECVD; negative ions; acethylene

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 25. 6. 2007 16:53, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Anotace

V originále

Film deposition in Paralle Plate RF Discharges Containing Hydrocarbons

Návaznosti

GP202/01/P106, projekt VaV
Název: Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
Investor: Grantová agentura ČR, Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek