2004
Spectroscopic analysis of a pulsed magnetron discharge
VAŠINA, Petr; Marcel MEŠKO; Jean-Christiphe IMBERT; Ludovic DE POUCQUEC; Lionel TEULE-GAY et. al.Základní údaje
Originální název
Spectroscopic analysis of a pulsed magnetron discharge
Název česky
Spektroskopická analýsa pulzního magnetronového výboje
Název anglicky
Spectroscopic analysis of a pulsed magnetron discharge
Autoři
VAŠINA, Petr; Marcel MEŠKO; Jean-Christiphe IMBERT; Ludovic DE POUCQUEC; Lionel TEULE-GAY; Caroline BOISSE-LAPORTE; Jean BRETAGNE; Daniel PAGNON; Michel TOUZEAU a MIhai GANCIU
Vydání
Constanta, Proceeding of Seventeenth European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases, od s. 117-118, 2 s. 2004
Další údaje
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000232894100028
Klíčová slova anglicky
pulsed magnetron; spectroscopy
Štítky
Změněno: 13. 1. 2005 12:24, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
V originále
To investigate the generation and transport of ions during and after a high power current pulse applied on magnetron cathode used for IPVD, we performed spectroscopic measurement with time and space resolution. Two microwave antennas placed between target and substrate ensure proper condition of current pulse developement, ion transport and by re-excitating of sputtered species, allows spectroscopic emission measurements of species transport toward the substrate.
Česky
Optická emisní spektroskopie byla použita k sledování generace a transportu částic v IPVD reaktoru. Mezi magnetronem a substrátem byly umístěny dvě mikrovlnné antény, které napomáhaly spravnému vývoji proudového pulzu a navíc, re-excitovali rozprášené částice, které se pohybovali směrem k substratu. Transport pal bylo možno sledovat optickou emisní spektroskopií.