2004
Fast dynamics of ionized species in high power pulsed magnetron discharge
VAŠINA, Petr; Marcel MEŠKO; Michel TOUZEAU; Jean BRETAGNE; Mihai GANCIU et. al.Základní údaje
Originální název
Fast dynamics of ionized species in high power pulsed magnetron discharge
Název česky
Rychlá dynamika ionizovaných částic v pulzním magnetronu velkého výkonu
Autoři
VAŠINA, Petr; Marcel MEŠKO; Michel TOUZEAU; Jean BRETAGNE a Mihai GANCIU
Vydání
Melville, Bulletin of the American Physical Society, Series II, Vol. 49, No. 5, od s. 56-56, 1 s. 2004
Nakladatel
American Institute for Physics
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
0003-0503
Klíčová slova anglicky
preionization; pulsed magnetron discharge; copper
Změněno: 23. 2. 2006 16:18, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
V originále
A high power density 1kW/cm2 preionized pulsed magnetron plasma was investigated. Applied voltage of 1 kV caused fast magnetron current increase, and, after few microseconds, dense plasma was formed characterized by a pressure independent value of 40 A for a 3 cm copper cathode. For times higher than 5 microsecond, plasma composition was dominated by metal ions and selfsputtering process took place.
Česky
Pulzni preionizovany magnetron velkeho vykonu 1kW/cm2 byl studovam pomoci casove rozlisene opticke emisni spektroskopie a pomoci casove rozliseneho mereni proudu a napeti na katode. Aplikovani 1kV stejnosmerneho napeti na kotodu je provazeno prutkym narustem magnetronoveho proudu, ktery dosahne na tlaku nezavisle hodnoty 40A pro 3cm medenou katodu. Spolelecne s vysledky OES bylo zjisteno, ze pro casy vetsi nez 5 mikrosekund je plasma dominantne slozeno z medenych iontu, ktere se ucasni samorozprasovani.
Návaznosti
| GD202/03/H162, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|