D 2005

Energy Spectra of Ions in the Hydrogen Capacitively Coupled Low-Pressure Discharge

DVOŘÁK, Pavel; Jaroslav JÁNSKÝ; Lenka ZAJÍČKOVÁ a Jan JANČA

Základní údaje

Originální název

Energy Spectra of Ions in the Hydrogen Capacitively Coupled Low-Pressure Discharge

Název česky

Energiová spektra iontů ve vodíkovém kapacitně vázaném nízkotlakém plazmatu

Autoři

Vydání

Podbanské, SAPP XV - Book of contributed papers, od s. 151-152, 2 s. 2005

Nakladatel

Comenius University Press

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/05:00012360

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-223-2018-8

Klíčová slova anglicky

IEDF hydrogen capacitive plasma low-pressure

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 17. 7. 2007 15:52, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

The IEDFs of ions flowing from hydrogen asymmetric capacitively coupled low-pressure discharge were measured. The dependencies of their shapes and integrals on the measurement position are presented.

Česky

Závislost rozdělovacích funkcí (a jejich integrálů) energie iontů letících z vodíkového kapacitně vázaného nízkotlakého výboje na poloze mezi elektrodami.

Návaznosti

GD202/03/H162, projekt VaV
Název: Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu
Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu
MSM 143100003, záměr
Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek