D 2004

Project of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University

MIKULÍK, Petr

Základní údaje

Originální název

Project of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University

Název česky

Projekt laboratoře čistých prostor pro křemíkovou technologii čipů na Masarykově univerzitě

Autoři

MIKULÍK, Petr (203 Česká republika, garant)

Vydání

Rožnov pod Radhoštěm, Proceedings of International Conference Silicon-2004, od s. 54-55, 2 s. 2004

Nakladatel

Karel Vojtěchovský

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/04:00010943

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

clean room; silicon; chip

Štítky

Změněno: 10. 2. 2005 14:46, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

The paper presents ideas, motivation and plans the the projection of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University.

Česky

Práce popisuje myšlenky, motivaci a plán pro projekt laboratoře čistých prostor pro křemíkovou technologii čipů na Masarykově univerzitě.

Návaznosti

MSM 143100002, záměr
Název: Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur