J 2004

Annealing studies of high Ge composition Si/SiGe multilayers

MEDUŇA, Mojmír; Jiří NOVÁK; Václav HOLÝ; Günther BAUER; Claudiu FALUB et. al.

Základní údaje

Originální název

Annealing studies of high Ge composition Si/SiGe multilayers

Název česky

Studium žíhání multivrstev SiGe/Si s vysokým obsahem Ge

Autoři

MEDUŇA, Mojmír (203 Česká republika, garant); Jiří NOVÁK (203 Česká republika); Václav HOLÝ (203 Česká republika); Günther BAUER (40 Rakousko); Claudiu FALUB (642 Rumunsko); Soichiro TSUJINO (392 Japonsko); Elisabeth MÜLLER (756 Švýcarsko); Detlev GRÜTZMACHER (276 Německo); Yves CAMPIDELLI (250 Francie); Olivier KERMARREC (250 Francie) a Daniel BENSAHEL (250 Francie)

Vydání

Zeitschrift fur Kristalographie, R. Oldenbourg Verlag GmbH, 2004, 0044-2968

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Německo

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 1.390

Kód RIV

RIV/00216224:14310/04:00010958

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000221641100004

Klíčová slova anglicky

Reflectivity; X-ray diffraction; Annealing; Diffusion; Si/SiGe multiple quantum wells

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 14. 2. 2007 09:42, Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.

Anotace

V originále

Temperature stability of SiGe/Si (80% Ge) multilayers was studied using x-ray reflectivity during in-situ annealing at temperature 810C.

Česky

Byla studována teplotní stbilita multivrstev SiGe/Si (80% Ge) metodou rtg reflexe během žíhání in-situ při teplotě 810C.

Návaznosti

MSM 143100002, záměr
Název: Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur