Detailed Information on Publication Record
2004
In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry
BRANDEJSOVÁ, Eva, Jan ČECHAL, Olga BONAVENTUROVÁ ZRZAVECKÁ, Alois NEBOJSA, Petr TICHOPÁDEK et. al.Basic information
Original name
In situ analysis of PMPSi thin films by spectroscopic ellipsometry
Name in Czech
In situ analýza tenkých vrstev PMPSi metodou spektroskopické elipsometrie
Authors
BRANDEJSOVÁ, Eva (203 Czech Republic), Jan ČECHAL (203 Czech Republic), Olga BONAVENTUROVÁ ZRZAVECKÁ (203 Czech Republic), Alois NEBOJSA (203 Czech Republic), Petr TICHOPÁDEK (203 Czech Republic), Michal URBÁNEK (203 Czech Republic), Karel NAVRÁTIL (203 Czech Republic), Tomáš ŠIKOLA (203 Czech Republic) and Josef HUMLÍČEK (203 Czech Republic, guarantor)
Edition
Jemná mechanika a optika, Přerov, Physical Institute, ASCR, 2004, 0447-6441
Other information
Language
English
Type of outcome
Článek v odborném periodiku
Field of Study
10302 Condensed matter physics
Country of publisher
Czech Republic
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
RIV identification code
RIV/00216224:14310/04:00010983
Organization unit
Faculty of Science
Keywords in English
spectroscopic ellipsometry; poly(methyl-phenylsilane)
Změněno: 9/2/2007 14:26, prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
V originále
In the paper in situ monitoring of the UV-light-and thermal treatment of PMPSi thin films by real time spectroscopic ellipsometry and additional ex situ measurements are reported. In the in situ experiments the films were treated both under ultrahigh vacuum and oxygen atmosphere. The results of this study indicate systematic shift of the imaginary part of a complex dielectric function depending on the degree of treatment.
In Czech
V článku jsou prezentovány výsledky elipsometrických měření tenkých vrstev poly(methyl-phenylsilanu) ve spektrálním oboru (3,4 - 4,8 eV). Měření byla pořízena během působení UV záření a zvýšené teploty v ultravakuové komoře s možností připouštění kyslíku. V závislosti na typu a intenzitě působení dochází k systematickému posunu a změně tvaru spektra komplexní dielektrické funkce.
Links
| MSM 262100002, plan (intention) |
|