Local wing tilt analysis of laterally overgrown GaN by x-ray rocking curve imaging

LÜBBERT, D., T. BAUMBACH, Petr MIKULÍK, P. PERNOT, L. HELFEN, R. KÖHLER, T.M. KATONA, S. KELLER, T.M. KATONA a S.P. DENBAARS. Local wing tilt analysis of laterally overgrown GaN by x-ray rocking curve imaging. Journal of physics D: Applied physics. Bristol, England: IOP Publishing Ltd., 2005, roč. 38, 10A, s. A50-A5, 5 s. ISSN 0022-3727.

Základní údaje

• Originální název: Local wing tilt analysis of laterally overgrown GaN by x-ray rocking curve imaging
• Název česky: Lokální analýza rozorientace křídel laterálně přerostlých GaN zobrazením rocking křivek
• Autoři: LÜBBERT, D. (276 Německo), T. BAUMBACH (276 Německo), Petr MIKULÍK (203 Česká republika, garant), P. PERNOT (203 Česká republika), L. HELFEN (276 Německo), R. KÖHLER (276 Německo), T.M. KATONA (840 Spojené státy), S. KELLER (840 Spojené státy), T.M. KATONA (840 Spojené státy) a S.P. DENBAARS (840 Spojené státy).
• Vydání: Journal of physics D: Applied physics, Bristol, England, IOP Publishing Ltd. 2005, 0022-3727.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10302 Condensed matter physics
• Stát vydavatele: Velká Británie a Severní Irsko
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• WWW: URL
• Impakt faktor: Impact factor: 1.957
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/05:00013719
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• UT WoS: 000230243500011
• Klíčová slova anglicky: lattice tilt; diffraction; X-ray diffraction; GaN; ELO
• Štítky: diffraction, ELO, GaN, lattice tilt, X-ray diffraction
• Příznaky: Mezinárodní význam, Recenzováno

Anotace

We report on recent advances in spatially resolved x-ray diffraction, extending the technique known as rocking curve imaging down to 1--2 um spatial resolution. Application to a set of gallium nitride samples grown by epitaxial lateral overgrowth (ELO) shows the potential of the technique. Quantitative information on crystallographic misorientations and lattice quality can be obtained by direct imaging with high lateral resolution. Results from two samples of ELO-GaN grown on different substrates are compared. Tilt in individual lateral periods of the ELO structure can be quantified. Local tilt fluctuations are distinguished from macroscopic variations (curvature). The local lattice quality can be investigated via the peak width of diffraction profiles recorded in individual camera pixels. The peak broadening previously observed in laboratory x-ray diffraction measurements is found to have (at least) two different reasons. In both cases, peak broadening does not indicate a degradation in local crystalline quality.

Anotace česky

Referujeme o nejnovějších výsledcích v prostorově rozlišené rtg difrakci, rozšiřující techniku zvanou zobrazení rocking křivkami na rozlišení 1--2 um. Potenciál metody je demonstrován na sérii GaN vzorků připravených epitaxním přerostením (ELO). Kvantitativní informace o krystalografické rozorientaci a kvalitě mřížky může být získána přímým zobrazením s vysokým laterálním rozlišením. Srovnáváme výsledky ze dvou vzorků ELO-GaN rostlých na různých substrátech. Lokální kvalita mřížky je analyzována pomocí šířky píků difrakčních profilů zaznamenaných jednotlivými pixely na kameře. Rozšíření šířky píků měřené laboratorní rtg difrakcí je interpretováno, a zjištěno, že neznačí degradaci v lokální kvalitě mřížky.

Návaznosti

• MSM 143100002, záměr: Název: Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur

• MSM0021622410, záměr: Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur