2005
Local wing tilt analysis of laterally overgrown GaN by x-ray rocking curve imaging
LÜBBERT, D., T. BAUMBACH, Petr MIKULÍK, P. PERNOT, L. HELFEN et. al.Základní údaje
Originální název
Local wing tilt analysis of laterally overgrown GaN by x-ray rocking curve imaging
Název česky
Lokální analýza rozorientace křídel laterálně přerostlých GaN zobrazením rocking křivek
Autoři
LÜBBERT, D. (276 Německo), T. BAUMBACH (276 Německo), Petr MIKULÍK (203 Česká republika, garant), P. PERNOT (203 Česká republika), L. HELFEN (276 Německo), R. KÖHLER (276 Německo), T.M. KATONA (840 Spojené státy), S. KELLER (840 Spojené státy), T.M. KATONA (840 Spojené státy) a S.P. DENBAARS (840 Spojené státy)
Vydání
Journal of physics D: Applied physics, Bristol, England, IOP Publishing Ltd. 2005, 0022-3727
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Velká Británie a Severní Irsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Impakt faktor
Impact factor: 1.957
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00013719
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000230243500011
Klíčová slova anglicky
lattice tilt; diffraction; X-ray diffraction; GaN; ELO
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 12. 2. 2007 18:35, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
V originále
We report on recent advances in spatially resolved x-ray diffraction, extending the technique known as rocking curve imaging down to 1--2 um spatial resolution. Application to a set of gallium nitride samples grown by epitaxial lateral overgrowth (ELO) shows the potential of the technique. Quantitative information on crystallographic misorientations and lattice quality can be obtained by direct imaging with high lateral resolution. Results from two samples of ELO-GaN grown on different substrates are compared. Tilt in individual lateral periods of the ELO structure can be quantified. Local tilt fluctuations are distinguished from macroscopic variations (curvature). The local lattice quality can be investigated via the peak width of diffraction profiles recorded in individual camera pixels. The peak broadening previously observed in laboratory x-ray diffraction measurements is found to have (at least) two different reasons. In both cases, peak broadening does not indicate a degradation in local crystalline quality.
Česky
Referujeme o nejnovějších výsledcích v prostorově rozlišené rtg difrakci, rozšiřující techniku zvanou zobrazení rocking křivkami na rozlišení 1--2 um. Potenciál metody je demonstrován na sérii GaN vzorků připravených epitaxním přerostením (ELO). Kvantitativní informace o krystalografické rozorientaci a kvalitě mřížky může být získána přímým zobrazením s vysokým laterálním rozlišením. Srovnáváme výsledky ze dvou vzorků ELO-GaN rostlých na různých substrátech. Lokální kvalita mřížky je analyzována pomocí šířky píků difrakčních profilů zaznamenaných jednotlivými pixely na kameře. Rozšíření šířky píků měřené laboratorní rtg difrakcí je interpretováno, a zjištěno, že neznačí degradaci v lokální kvalitě mřížky.
Návaznosti
| MSM 143100002, záměr |
| ||
| MSM0021622410, záměr |
|