2005
High-resolution three-dimensional imaging of flat objects by synchrotron-radiation computed laminography
HELFEN, L.; T. BAUMBACH; Petr MIKULÍK; D. KIEL; P. PERNOT et al.Základní údaje
Originální název
High-resolution three-dimensional imaging of flat objects by synchrotron-radiation computed laminography
Název česky
Vysocerozlišovací trojdimenzionální zobrazování plochých objektů synchrotronovou výpočetní laminografií
Autoři
HELFEN, L.; T. BAUMBACH; Petr MIKULÍK; D. KIEL; P. PERNOT; P. CLOETENS a J. BARUCHEL
Vydání
Applied Physics Letters, USA, American Institute of Physics, 2005, 0003-6951
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Odkazy
Impakt faktor
Impact factor: 4.127
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00013830
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000227439400039
Klíčová slova anglicky
laminography; tomography; synchrotron radiation; NDT
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 12. 2. 2007 18:35, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.
V originále
Computed laminography with synchrotron radiation is developed and carried out for three-dimensional imaging of flat, laterally extended objects with high spatial resolution. Particular experimental conditions of a stationary synchrotron source have been taken into account by a scanning geometry different from that employed with movable conventional laboratory x-ray sources. Depending on the mechanical precision of the sample manipulation system, high spatial resolution down to the scale of 1 um can be attained nondestructively, even for objects of large lateral size. Furthermore, high beam intensity and the parallel-beam geometry enables easy use of monochromatic radiation for optimizing contrast and reducing imaging artifacts. Simulations and experiments on a test object demonstrate the feasibility of the method. Application to the inspection of solder joints in a flip-chip bonded device shows the potential for quality assurance of microsystem devices.
Česky
V článku je vypracována metoda výpočetní laminografie pro synchrotronové záření, a použita pro trojdimenzionální zobrazování rovinných, laterálně rozsáhlých objektů s vysokým prostorovým rozlišením. Konkrétní experimentální podmínky stacionárního synchrotronového zdroje byly vzaty do úvahy pro skenovací geometrii odlišnou od té, která je používána konvenčními laboratorními zdroji. V závislosti na mechanické přesnosti manipulačniho systému vzorku je možné nedestruktivně dosáhnout vysokého prostorového rozlišení až do 1 um, a to i pro laterálně velké vzorky. Dále, vysoká intenzita záření a paralelnost vzorku umožňují použití monochromatického záření pro optimalizaci konstrastu a odstranění artefaktů zobrazení. Simulace a experiment na testovacím objektu demonstrují použitelnost metody. Aplikace pro inspekci pájených kontaktů mikroelektronického čipu ukazuje potenciál metody pro zajištění kvality mikrosystémových zařízení.
Návaznosti
| MSM 143100002, záměr |
| ||
| MSM0021622410, záměr |
|