2005
Fourier components of plasma potential in hydrogen capacitively coupled rf discharge
DVOŘÁK, Pavel a Jan JANČAZákladní údaje
Originální název
Fourier components of plasma potential in hydrogen capacitively coupled rf discharge
Název česky
Fourierovy složky potenciálu plazmatu vodíkového kapacitně vázaného rf. výboje
Autoři
DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant) a Jan JANČA (203 Česká republika)
Vydání
Eindhoven, Proceedings of XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases, od s. 06-338, 4 s. 2005
Nakladatel
Eindhoven University of Technology
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Nizozemské království
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00012564
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
90-386-2231-7
Klíčová slova anglicky
plasma potential harmonic hydrogen
Změněno: 8. 8. 2005 15:09, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
V originále
We measured the amplitudes of the fundamental and higher harmonics of the plasma potential in a low-pressure high frequency (13.56 MHz) hydrogen capacitively coupled discharge. Their dependencies on the position in the discharge and pressure are presented.
Česky
Měřili jsme amplitudy základní a vyšších harmonických frekvencí potenciálu plazmatu v nízkotlakém, vysokofrekvenčním (13,56 MHz), kapaciteně vázaném vodíkovém výboji. Publikujeme jejich závislosti na poloze ve výboji a na tlaku.
Návaznosti
| GD202/03/H162, projekt VaV |
| ||
| MSM 143100003, záměr |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|