2005
Complex study of the mechanical properties of a-Si:H and a-SiC:H thin films
BURŠÍKOVÁ, Vilma, Petr SLÁDEK, Pavel SŤAHEL a Jiří BURŠÍKZákladní údaje
Originální název
Complex study of the mechanical properties of a-Si:H and a-SiC:H thin films
Název česky
Komplexní studium mechanických vlastností tenkých vrstev a-Si:H , a-SiC:H
Autoři
BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika), Petr SLÁDEK (203 Česká republika, garant), Pavel SŤAHEL (203 Česká republika) a Jiří BURŠÍK (203 Česká republika)
Vydání
Lisbon, Book of abstract - ICANS 21, s. 162-162, 2005
Nakladatel
Universidade Nova de Lisboa
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Portugalsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00012628
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
972-8893-04-3
Klíčová slova anglicky
amorphous semiconductor; mechanical properties; thin film
Změněno: 3. 1. 2006 16:37, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
V originále
The aim of this study is to provide the complex study of the mechanical properties of a-SiH and a-SiC:H thin films prepared under different plasma conditions.
Česky
Cílem práce je komplexní studium mechanických vlastností tenkých vrstev a-Si:H a a-SiC:H připravených v plazmatu za různých depozičních podmínek.
Návaznosti
| GA106/05/0274, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|