Měření mechanického napětí v tenkých vrstvách pomocí kombinované optické metody

OHLÍDAL, Ivan, Miloslav OHLÍDAL, Daniel FRANTA, Vlastimil ČUDEK, Vilma BURŠÍKOVÁ a Martin ŠILER. Měření mechanického napětí v tenkých vrstvách pomocí kombinované optické metody. Jemná mechanika a optika. Přerov: Physical Institute, ASCR, 2005, roč. 50, č. 3, s. 72-75. ISSN 0447-6441.

Základní údaje

• Originální název: Měření mechanického napětí v tenkých vrstvách pomocí kombinované optické metody
• Název anglicky: Measurement of mechanical stress in thin films using combined optical method
• Autoři: OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, garant), Miloslav OHLÍDAL (203 Česká republika), Daniel FRANTA (203 Česká republika), Vlastimil ČUDEK (203 Česká republika), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika) a Martin ŠILER (203 Česká republika).
• Vydání: Jemná mechanika a optika, Přerov, Physical Institute, ASCR, 2005, 0447-6441.

Další údaje

• Originální jazyk: čeština
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10302 Condensed matter physics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• WWW: URL
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/05:00012755
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• Klíčová slova anglicky: DLC thin films; mechanical stress; double-beam interferometry
• Štítky: DLC thin films, double-beam interferometry, mechanical stress

Anotace

V tomto článku je popsána optická metoda umožňující měření mechanického napětí v tenkých vrstvách. Tato metoda je založena na určování poloměrů zakřivení deformovaných podložek, která vznikají v důsledku existence napětí ve vrstvách vytvořených na těchto podložkách. Hodnoty napětí jsou počítány pomocí modifikované Stoneyovy rovnice. Hodnoty tlouštěk tenkých vrstev, které jsou rovněž potřebné pro výpočet těchto napětí, jsou určeny pomocí metody založené na interpretaci experimentálních dat získaných v rámci víceúhlové spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie. Tato kombinovaná optická metoda je využita pro určení hodnot mechanických napětí ve vrstvách DLC (diamond-like carbon) vytvořených na podložkách z monokrystalu křemíku, které obsahují příměsy Si a O. V práci je také studována závislost hodnot napětí v těchto vrstvách na hodnotách poměru průtoků hexamethyldisiloxanu (HMDSO) a metanu.

Anotace anglicky

In this paper an optical method enabling us to measure the mechanical stress in thin films is decribed. This method is based on determination of the curvature radii of the substrates curved originating in consequence of the existence of the stresses inside the films created onto these substrates. The stess values are calculated using the modified Stoney formula. The thin film thicknesses needed for calculating the stresses are determined by means of the method based on interpretation of the experimental data obtained using multiple angle spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry. This combined optical method is utilized for determination of the mechanical stresses in the DLC (diamond-like carbon) films prepared onto the substrates consisting of silicon single crystal containing impurities Si and O. In the paper the dependence of the stress inside these films on the values of ratio of the flow rates of hexamethyldisoloxane (HMDSO) and methane.

Návaznosti

• GA101/04/2131, projekt VaV: Název: Realizace laboratorního digitálního spektrofotometru pro širokou spektrální oblast

Investor: Grantová agentura ČR, Realizace laboratorního digitálního spektrofotometru pro širokou spektrální oblast

• MSM0021622411, záměr: Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek