J 2005

Study of the mechanical properties of thin films using combined nanoindentation and AFM measurements

BURŠÍKOVÁ, Vilma; Petr KLAPETEK; Angelique BOUSQUET a Marek ELIÁŠ

Základní údaje

Originální název

Study of the mechanical properties of thin films using combined nanoindentation and AFM measurements

Název česky

Studium mechanických vlastností tenkých vrstev kombinací nanotvrdosti a AFM

Autoři

BURŠÍKOVÁ, Vilma; Petr KLAPETEK; Angelique BOUSQUET a Marek ELIÁŠ

Vydání

Jemná mechanika a optika, Přerov, Physical Institute, ASCR, 2005, 0447-6441

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/05:00012840

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

nanoindentation; AFM; thin films; mechanical properties

Štítky

Změněno: 12. 12. 2005 18:00, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Study of the mechanical properties of thin films prepared by PECVD using combined nanoindentation and AFM measurements.

Česky

Studium mechanických vlastností tenkých vrstev připravených v plazmatu kombinací AFM a nanoindentace.

Návaznosti

GA106/05/0274, projekt VaV
Název: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
Investor: Grantová agentura ČR, Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek