ZAJÍČKOVÁ, Lenka, Vilma BURŠÍKOVÁ, Vratislav PEŘINA, Anna MACKOVÁ and Jan JANČA. Correlation between SiOx Content and Properties of DLC:SiOx Films Prepared by PECVD. Surface and Coating Technology. New York: ELSEVIER, 2003, vol. 2003, 174-175, p. 281-285. ISSN 0257-8972.
Other formats:   BibTeX LaTeX RIS
Basic information
Original name Correlation between SiOx Content and Properties of DLC:SiOx Films Prepared by PECVD
Name in Czech Vztah mezi obsahem SiOx a vlastnostmi vrstev DLC:SiOx připravenými PECVD
Authors ZAJÍČKOVÁ, Lenka (203 Czech Republic, guarantor), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Czech Republic), Vratislav PEŘINA (203 Czech Republic), Anna MACKOVÁ (203 Czech Republic) and Jan JANČA (203 Czech Republic).
Edition Surface and Coating Technology, New York, ELSEVIER, 2003, 0257-8972.
Other information
Original language English
Type of outcome Article in a journal
Field of Study 10305 Fluids and plasma physics
Country of publisher United States of America
Confidentiality degree is not subject to a state or trade secret
Impact factor Impact factor: 1.410
RIV identification code RIV/00216224:14310/03:00021418
Organization unit Faculty of Science
Keywords in English DLC; PECVD
Tags DLC, PECVD
Tags International impact, Reviewed
Changed by Changed by: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414. Changed: 17/7/2007 17:57.
Abstract
Hard diamond like carbon (DLC) films with an addition of SiOx were deposited in capacitively coupled rf discharges from a mixture of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO). The flow rate of HMDSO was changed in order to vary the SiOx content in the films. Complete atomic composition of the films was determined by Rutherford backscattering spectroscopy combined with elastic recoil detection analysis. The thickness and the optical properties were obtained from the ellipsometric measurements. The mechanical properties were studied by a depth sensing indentation technique using Fischerscope H100 tester. The O/Si ratio in DLC:SiOx films was 0.286 and the content of SiOx increased with the HMDSO-to-methane flow rate ratio q. The DLC:SiOx films were close to DLC films as concerning the optical properties in the uv/visible and the high hardness if q was maximum 0.25. However, the compressive stress in the films was reduced, the film fracture toughness was improved and the deposition rate increased.
Abstract (in Czech)
Tvrdé diamantu podobné uhlíkové vrstvy (DLC) s příměsí SiOx bylu připraveny v kapacitně vázaném vf výboji ze směsi metanu a hexametyldisiloxanu (HMDSO). Byl měněn průtok HMDSO, což ovlivňovalo množství SiOx ve vrstvách. Metodou Rutherfordovského zpětného rozptylu kombinovanou s metodou ERDA bylo stanoveno kompletní atomární složení vrstev. Tloušťka a optické vlastnosti byly stanoveny z elipsometrických měření. Mechanické vlastnosti byly studovány hloubkově citlivou indentační technikou za pomocí přístroje Fischerscope H100. Poměr O/Si v DLC:SiOx vrstvách byl 0,286 a obsah SiOx se zvyšoval s rostoucím poměrem průtoku HMDSO k metanu (q). Vrstvy DLC:SiOx byly z hlediska optických vlastností v uv a viditelné oblasti podobné vrstvám DLC a vykazovaly podobně vysokou tvrdost jako DLC vrstvy pokud byl poměr q maximálně 0,25. Podařilo se ovšem zredukovat vysoké tlakové pnutí ve vrstvách, byla podstatně vylepšena lomová houževnatost a zvýšila se depoziční rychlost.
Links
MSM 143100003, plan (intention)Name: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study of plasmachemical reactions in non-isothermic low pressure plasma and its interaction with the surface of solid substrates
PrintDisplayed: 18/6/2024 18:38