Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition

ZŮDA, Jaroslav; Vilma BURŠÍKOVÁ; Jan ČECH a Pavel SŤAHEL. Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition. In JUNIORMAT'05. Brno: Faculty of mechanical engineering, BUT, 2005, s. 47-50. ISBN 80-214-2984-4.

Základní údaje

Originální název

Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition

Název česky

Termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu

Autoři

ZŮDA, Jaroslav; Vilma BURŠÍKOVÁ; Jan ČECH ORCID a Pavel SŤAHEL

Vydání

Brno, JUNIORMAT'05, od s. 47-50, 4 s. 2005

Nakladatel

Faculty of mechanical engineering, BUT

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/05:00012982

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-214-2984-4

Klíčová slova anglicky

Thermal stability; diamond like carbon; thin films; plasma enhanced chemical vapor deposition

Štítky

diamond like carbon, thermal stability, thin films

---

Anotace

V originále

In this work the thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition was studied.

Česky

V této práci byla studována termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu.

---

Návaznosti

GA106/05/0274, projekt VaV	Název: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů Investor: Grantová agentura ČR, Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
GA202/05/0777, projekt VaV	Název: Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku
MSM0021622411, záměr	Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek