Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition

ZŮDA, Jaroslav, Vilma BURŠÍKOVÁ, Jan ČECH a Pavel SŤAHEL. Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition. In JUNIORMAT'05. Brno: Faculty of mechanical engineering, BUT, 2005, s. 47-50. ISBN 80-214-2984-4.

Základní údaje

• Originální název: Thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition
• Název česky: Termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu
• Autoři: ZŮDA, Jaroslav (203 Česká republika), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, garant), Jan ČECH (203 Česká republika) a Pavel SŤAHEL (203 Česká republika).
• Vydání: Brno, JUNIORMAT'05, od s. 47-50, 4 s. 2005.
• Nakladatel: Faculty of mechanical engineering, BUT

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Stať ve sborníku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/05:00012982
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• ISBN: 80-214-2984-4
• Klíčová slova anglicky: Thermal stability; diamond like carbon; thin films; plasma enhanced chemical vapor deposition
• Štítky: diamond like carbon, thermal stability, thin films

Anotace

In this work the thermal stability of diamond like carbon thin films prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition was studied.

Anotace česky

V této práci byla studována termální stabilita DLC vrstev připravených depozicí v plazmatu.

Návaznosti

• GA106/05/0274, projekt VaV: Název: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů

Investor: Grantová agentura ČR, Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů

• GA202/05/0777, projekt VaV: Název: Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku

Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku

• MSM0021622411, záměr: Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek