Plasma Enchanced CVD of Carbon Nanotubes in Atmosferic Pressure
Microwave Torch

D 2005

Plasma Enchanced CVD of Carbon Nanotubes in Atmosferic Pressure Microwave Torch

JAŠEK, Ondřej, Marek ELIÁŠ, Martin BUBLAN, Vít KUDRLE, Lenka ZAJÍČKOVÁ et. al.

Základní údaje

Originální název

Plasma Enchanced CVD of Carbon Nanotubes in Atmosferic Pressure Microwave Torch

Název česky

Syntéza uhlíkových nanotrubek v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku metodou PECVD

Autoři

JAŠEK, Ondřej (203 Česká republika, garant), Marek ELIÁŠ (203 Česká republika), Martin BUBLAN (203 Česká republika), Vít KUDRLE (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Jiřina MATĚJKOVÁ (203 Česká republika), Antonín REK (203 Česká republika), Jiří BURŠÍK (203 Česká republika) a Magdaléna KADLĚČÍKOVÁ (703 Slovensko)

Vydání

1. vyd. Bratislava, Proceedings of 15th Symposion on Application of Plasma Processes, od s. 187-188, 2 s. 2005

Nakladatel

Comenius University Press

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Slovensko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/05:00012989

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

80-223-2018-8

Klíčová slova anglicky

carbon nanotubes; microwave discharge; scanning electron microscopy

Štítky

carbon nanotubes, microwave discharge, scanning electron microscopy

Příznaky

Mezinárodní význam

Změněno: 11. 12. 2006 13:31, Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

In present paper we describe a synthesis of carbon nanotubes in microwave plasma torch at atmospheric pressure from the mixture of methane, hydrogen and argon on Si/SiO2/Fe substrate. Using this relatively novel method and under optimized conditions pure, well aligned and long nanotubes were grown with high deposition rate. The layers were analyzed by scanning electron microscopy and discharge plasma was analyzed by optical emission spectroscopy.

Česky

Uhlíkové nanotrubky byly připraveny v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku buzeném ve směsi metanu,vodíku a argonu na Si/SiO2/Fe substrátech. Optimalizací podmínek bylo možno připravit čisté, velmi dobře uspořádané vrtsvy dlouhých nanotrubek (několik desítek mikrometrů) s vysokou růstovou rychlostí. Deponované vrstvy byly analyzovány skenovací elektronovou mikroskopií a plazma výboje bylo analyzováno optickou emisní spektroskopií.

Návaznosti

GA202/05/0607, projekt VaV

Název: Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi

Investor: Grantová agentura ČR, Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi

Citovat

JAŠEK, Ondřej, Marek ELIÁŠ, Martin BUBLAN, Vít KUDRLE, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Jiřina MATĚJKOVÁ, Antonín REK, Jiří BURŠÍK a Magdaléna KADLĚČÍKOVÁ. Plasma Enchanced CVD of Carbon Nanotubes in Atmosferic Pressure Microwave Torch. In Proceedings of 15th Symposion on Application of Plasma Processes. 1. vyd. Bratislava: Comenius University Press, 2005, s. 187-188. ISBN 80-223-2018-8.

@inproceedings{602425,
   author = {Jašek, Ondřej and Eliáš, Marek and Bublan, Martin and Kudrle, Vít and Zajíčková, Lenka and Matějková, Jiřina and Rek, Antonín and Buršík, Jiří and Kadlěčíková, Magdaléna},
   address = {Bratislava},
   booktitle = {Proceedings of 15th Symposion on Application of Plasma Processes},
   edition = {1},
   keywords = {carbon nanotubes; microwave discharge; scanning electron microscopy},
   language = {eng},
   location = {Bratislava},
   isbn = {80-223-2018-8},
   pages = {187-188},
   publisher = {Comenius University Press},
   title = {Plasma Enchanced CVD of Carbon Nanotubes in Atmosferic Pressure Microwave Torch},
   year = {2005}
}

TY  - JOUR
ID  - 602425
AU  - Jašek, Ondřej - Eliáš, Marek - Bublan, Martin - Kudrle, Vít - Zajíčková, Lenka - Matějková, Jiřina - Rek, Antonín - Buršík, Jiří - Kadlěčíková, Magdaléna
PY  - 2005
TI  - Plasma Enchanced CVD of Carbon Nanotubes in Atmosferic Pressure Microwave Torch
PB  - Comenius University Press
CY  - Bratislava
SN  - 8022320188
KW  - carbon nanotubes
KW  - microwave discharge
KW  - scanning electron microscopy
N2  - In present paper we describe a synthesis of carbon nanotubes in microwave plasma torch at atmospheric pressure from the mixture of methane, hydrogen and argon on Si/SiO2/Fe substrate. Using this relatively novel method and under optimized conditions pure, well aligned and long nanotubes were grown with high deposition rate. The layers were analyzed by scanning electron microscopy and discharge plasma was analyzed by optical emission spectroscopy.
ER  -

JAŠEK, Ondřej, Marek ELIÁŠ, Martin BUBLAN, Vít KUDRLE, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Jiřina MATĚJKOVÁ, Antonín REK, Jiří BURŠÍK a Magdaléna KADLĚČÍKOVÁ. Plasma Enchanced CVD of Carbon Nanotubes in Atmosferic Pressure Microwave Torch. In \textit{Proceedings of 15th Symposion on Application of Plasma Processes}. 1. vyd. Bratislava: Comenius University Press, 2005, s.~187-188. ISBN~80-223-2018-8.

Podrobný výpis o publikaci