2005
Ionized physical vapor deposition by high power fast pulsed magnetron discharge
GANCIU, Mihai; Petr VAŠINA; Marcel MEŠKO; Jean-Christophe IMBERT; Ludovic DE POUCQUES et al.Základní údaje
Originální název
Ionized physical vapor deposition by high power fast pulsed magnetron discharge
Název česky
Rychlý pulzní magnetronový výboj velkého výkonu pro IPVD
Autoři
GANCIU, Mihai; Petr VAŠINA; Marcel MEŠKO; Jean-Christophe IMBERT; Ludovic DE POUCQUES; Caroline BOISSE-LAPORTE; Jean BRETAGNE; Michel TOUZEAU; Olivier VOLDOIRE; Marie-Christine HUGON a Bernard AGIUS
Vydání
Paris, Actes du workshop Nouveaux oxydes a forte permittivite dans l integration des semi-conducteurs, od s. 83-89, 7 s. 2005
Nakladatel
Societe Francaise du Vide
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Francie
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00013096
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky
pulsed magnetron discharge; IPVD
Štítky
Změněno: 23. 2. 2006 15:02, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
V originále
Study of newly developed preionized (by low DC current) high power pulsed magnetron discharge.
Česky
Studium nově vyvinutého pulzního magnetronového výboje s preionizací
Návaznosti
| GD202/03/H162, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|