J 2005

High temperature investigations of Si/SiGe based cascade structures using x-ray scattering methods

MEDUŇA, Mojmír; Jiří NOVÁK; Claudiu FALUB; Gang CHEN; Günther BAUER et. al.

Základní údaje

Originální název

High temperature investigations of Si/SiGe based cascade structures using x-ray scattering methods

Název česky

Vysokoteplotní studia kaskádových struktur na bázi Si/SiGe za použití metod rtg rozptylu

Autoři

MEDUŇA, Mojmír; Jiří NOVÁK; Claudiu FALUB; Gang CHEN; Günther BAUER; Soichiro TSUJINO; Detlev GRÜTZMACHER; Elisabeth MÜLLER; Yves CAMPIDELLI; Olivier KERMARREC; Daniel BENSAHEL a Norbert SCHELL

Vydání

J. Phys. D: Appl. Phys. Bristol, UK, IOP Publishing, Ltd. 2005, 0022-3727

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 1.957

Kód RIV

RIV/00216224:14310/05:00014587

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000230243500024

Klíčová slova anglicky

X-ray reflectivity; SiGe; Annealing; Diffusion

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 14. 2. 2007 09:39, Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.

Anotace

V originále

Temperature stability of SiGe/Si (80% Ge) structures was studied using x-ray reflectivity during in-situ annealing around temperature 790C.

Česky

Teplotní stabilita SiGe/Si struktur byla studována pomocí rtg reflektivity během žíhání in-situ v okolí teplot 790C.

Návaznosti

MSM 143100002, záměr
Název: Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur