D 2005

Mechanical properties of amorphous and nanocrystalline silicon thin films on flexible substrates

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Petr SLÁDEK a Pavel SŤAHEL

Základní údaje

Originální název

Mechanical properties of amorphous and nanocrystalline silicon thin films on flexible substrates

Název česky

Mechanické vlastnosti amorfních a nanokrystalických tenkých vrstev křemíku na flexibilních substrátech

Autoři

BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika), Petr SLÁDEK (203 Česká republika, garant) a Pavel SŤAHEL (203 Česká republika)

Vydání

1. vyd. Brno, NENAMAT International Conference Proceedings NANO05, od s. 396-399, 4 s. 2005

Nakladatel

Brno University of Technology, Faculty of Mechanical Engineering

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14410/05:00014838

Organizační jednotka

Pedagogická fakulta

ISBN

80-214-3085-0

Klíčová slova anglicky

Mechanical properties; Amorphous silicon; Nanocrystalline Silicon
Změněno: 7. 2. 2006 12:33, doc. RNDr. Petr Sládek, CSc.

Anotace

V originále

The objective of our study was to investigate the mechanical properties of amorphous and nanocrystalline silicon thin layer deposited on flexible sustrates by means of depth sensing intendation method.

Česky

DSI technika je jedna z nejvhodnějších metod pro sledování mechanických vlastností tenkých vrstev. Byla použita pro studioum tenkých vrstev amorfního a nanokrystalického křemíku deponovaného na flexibilních substrátech.

Návaznosti

MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek