2005
Mechanical properties of amorphous and nanocrystalline silicon thin films on flexible substrates
BURŠÍKOVÁ, Vilma, Petr SLÁDEK a Pavel SŤAHELZákladní údaje
Originální název
Mechanical properties of amorphous and nanocrystalline silicon thin films on flexible substrates
Název česky
Mechanické vlastnosti amorfních a nanokrystalických tenkých vrstev křemíku na flexibilních substrátech
Autoři
BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika), Petr SLÁDEK (203 Česká republika, garant) a Pavel SŤAHEL (203 Česká republika)
Vydání
1. vyd. Brno, NENAMAT International Conference Proceedings NANO05, od s. 396-399, 4 s. 2005
Nakladatel
Brno University of Technology, Faculty of Mechanical Engineering
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14410/05:00014838
Organizační jednotka
Pedagogická fakulta
ISBN
80-214-3085-0
Klíčová slova anglicky
Mechanical properties; Amorphous silicon; Nanocrystalline Silicon
Změněno: 7. 2. 2006 12:33, doc. RNDr. Petr Sládek, CSc.
V originále
The objective of our study was to investigate the mechanical properties of amorphous and nanocrystalline silicon thin layer deposited on flexible sustrates by means of depth sensing intendation method.
Česky
DSI technika je jedna z nejvhodnějších metod pro sledování mechanických vlastností tenkých vrstev. Byla použita pro studioum tenkých vrstev amorfního a nanokrystalického křemíku deponovaného na flexibilních substrátech.
Návaznosti
MSM0021622411, záměr |
|