J 2005

Scanning thermal microscopy - theory and applications

KLAPETEK, Petr; Ivan OHLÍDAL a Jiří BURŠÍK

Základní údaje

Originální název

Scanning thermal microscopy - theory and applications

Název česky

Rastrovací termální mikroskopie - teorie a aplikace

Autoři

KLAPETEK, Petr; Ivan OHLÍDAL a Jiří BURŠÍK

Vydání

Jemná mechanika a optika, Přerov, Physical Institute, ASCR, 2005, 0447-6441

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/05:00013549

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

Scanning thermal microscopy
Změněno: 28. 2. 2006 19:38, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.

Anotace

V originále

In this article the theoretical background and some results of the scanning thermal microscopy analysis of artifical structures such as microchip surfaces and solar cell contacts are presented. It is shown that at the absence of surface roughness the SThM can be used to obtain reliable material contrast images. However, roughness and other topographical features can influence the thermal data in a strong way. It is illustrated that this effect can be partially removed by using neural network approach for modelling the thermal signal using the topography data. The illustration of this approach is presented in the analysis of geometry of the examples selected in this article.

Česky

V tomto článkuje uvedena základní teorie a některé výsledky týkající se analýzy umělých struktur pomocí rastrovací termální mikroskopie. Je ukázáno, že v případě nepřítomnosti povrchové drsnosti může být tato experimentální technika využita k obdržení spolehlivých obrazů v materiálovém kontrastu v rámci teplotního i vodivostního módu. Je také ukázáno, že povrchová drsnost a jiné topografické nepravidelnosti mohou ovlivnit termální data výrazným způsobem. Je také ilustrováno, že tento vliv může být částečně odstraněn pomocí využití neuronových sítí při modelování termálních signálů. se započtením topografických dat. Je uvedena i ilustrace tohoto přístupu při analýze geometrie příkladů vybraných pro účely tohoto článku.

Návaznosti

FT-TA/094, projekt VaV
Název: *Vývoj metod pro charakterizaci defektů na površích pevných látek.
Investor: Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR, Vývoj metod pro charakterizaci defektů na površích pevných látek
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek