2005
Scanning thermal microscopy - theory and applications
KLAPETEK, Petr; Ivan OHLÍDAL a Jiří BURŠÍKZákladní údaje
Originální název
Scanning thermal microscopy - theory and applications
Název česky
Rastrovací termální mikroskopie - teorie a aplikace
Autoři
KLAPETEK, Petr; Ivan OHLÍDAL a Jiří BURŠÍK
Vydání
Jemná mechanika a optika, Přerov, Physical Institute, ASCR, 2005, 0447-6441
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/05:00013549
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky
Scanning thermal microscopy
Štítky
Změněno: 28. 2. 2006 19:38, prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
V originále
In this article the theoretical background and some results of the scanning thermal microscopy analysis of artifical structures such as microchip surfaces and solar cell contacts are presented. It is shown that at the absence of surface roughness the SThM can be used to obtain reliable material contrast images. However, roughness and other topographical features can influence the thermal data in a strong way. It is illustrated that this effect can be partially removed by using neural network approach for modelling the thermal signal using the topography data. The illustration of this approach is presented in the analysis of geometry of the examples selected in this article.
Česky
V tomto článkuje uvedena základní teorie a některé výsledky týkající se analýzy umělých struktur pomocí rastrovací termální mikroskopie. Je ukázáno, že v případě nepřítomnosti povrchové drsnosti může být tato experimentální technika využita k obdržení spolehlivých obrazů v materiálovém kontrastu v rámci teplotního i vodivostního módu. Je také ukázáno, že povrchová drsnost a jiné topografické nepravidelnosti mohou ovlivnit termální data výrazným způsobem. Je také ilustrováno, že tento vliv může být částečně odstraněn pomocí využití neuronových sítí při modelování termálních signálů. se započtením topografických dat. Je uvedena i ilustrace tohoto přístupu při analýze geometrie příkladů vybraných pro účely tohoto článku.
Návaznosti
| FT-TA/094, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|