2006
Spectroscopic Ellipsometry as a Tool for On-Line Monitoring and Control of Surface Treatment Processes
EITZINGER, Christian; Jan FIKAR; Christian FORSICH a Josef HUMLÍČEKZákladní údaje
Originální název
Spectroscopic Ellipsometry as a Tool for On-Line Monitoring and Control of Surface Treatment Processes
Název česky
Spektroskopická elipsometrie jako nástroj pro on-line monitorování a řízení povrchových procesů
Autoři
EITZINGER, Christian (40 Rakousko); Jan FIKAR (203 Česká republika); Christian FORSICH (40 Rakousko) a Josef HUMLÍČEK (203 Česká republika, garant)
Vydání
Materials Science Forum, Trans Tech Publications, 2006, 0255-5476
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 0.399 v roce 2005
Kód RIV
RIV/00216224:14310/06:00016820
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
000239351800070
Klíčová slova anglicky
surface treatment; spectroscopic ellipsometry; on-line monitor; closed loop control; nitriding
Štítky
Změněno: 10. 5. 2006 13:36, prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
V originále
Modern material technology relies increasingly on processes for surface modification and coating. Generally we are lacking a possibility to monitor the progress of such processes. Thus the outcome can only be analyzed after the end of the whole process cycle. We are proposing to use spectroscopic ellipsometry (SE) as an on-line monitoring tool. As an optical method, SE is not affected by high temperatures, process gases, plasmas, etc. SE can be used as a monitoring tool or a sensor for closed loop control of processes. The main difficulty is the on line interpretation of SE data. Depending on the nature of the process monitored or controlled, different models are used for the interpretation. These models predict the SE response depending on different parameters describing the surface under investigation. A fitting process is used to solve the inverse problem, i.e. extracting material data from the SE spectra. We expect increased process stability and shorter development time as a practical benefit from the use of SE.
Česky
Moderní materiálové technologie se stále více opírají o procesy modifikace povrchů a povrchových pokrytí. Obecně chybí možnost monotorování postupu takových procesů.Výsledek pak může být analyzován až po skončení procesního cyklu. Navrhujeme použití spektroskopické elipsometrie (SE) jako on-line nástroje monitorování. Jde o optickou metodu, která není ovlivněna vysokými teplotami, procesními plyny, plasmatem apod. Používáme prokládací proceduru k získání materiálových charakteristik z naměřených SE dat. Očekáváme zvýšenou stabilitu procesu a kratší vývojový čas jako praktický zisk z použití SE.
Návaznosti
| MSM0021622410, záměr |
|