Detailed Information on Publication Record
2006
Optical characterization of carbon films prepared by PECVD using ellipsometry and reflectometry
VALTR, Miroslav, Ivan OHLÍDAL and Daniel FRANTABasic information
Original name
Optical characterization of carbon films prepared by PECVD using ellipsometry and reflectometry
Name in Czech
Optická charakterizace uhlíkových vrstev připravených metodou PECVD pomocí elipsometrie a reflektometrie
Authors
VALTR, Miroslav (203 Czech Republic, guarantor), Ivan OHLÍDAL (203 Czech Republic) and Daniel FRANTA (203 Czech Republic)
Edition
Czech. J. Phys. Praha, Institute of Physics Academy of Sciences, 2006, 0011-4626
Other information
Language
English
Type of outcome
Článek v odborném periodiku
Field of Study
10305 Fluids and plasma physics
Country of publisher
Czech Republic
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impact factor
Impact factor: 0.568
RIV identification code
RIV/00216224:14310/06:00015814
Organization unit
Faculty of Science
UT WoS
000241337000010
Keywords in English
plasma discharge; PECVD; ellipsometry; reflectometry; plasma
Tags
Tags
International impact, Reviewed
Změněno: 4/7/2009 17:58, Mgr. Miroslav Valtr, Ph.D.
V originále
Carbon polymer-like films were prepared using plasma enhanced chemical vapor deposition in pulsed regime in Ar-acetylene gas mixture. The optical characterization of these films was performed by variable angle spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry. Within the characterization the thicknesses, spectral dependences of the refractive index and extinction coefficient, dispersion parameters and the root-mean-square values of the heights of boundary roughness were determined. Non-negligible differences between the dependences of the film thickness on the deposition time determined using the ellipsometric data on the one hand and reflectometric data on the other hand were observed. These differences were explained by the fact that the films exhibited other defects that were not included in their structural model. Sensitivity of the optical parameters of the films on UV irradiation was also observed.
In Czech
Uhlíkové polymerní vrstvy byly připraveny plazmovou depozicí z plynné fáze v pulzním režimu ve směsi Ar-acetylén. Optická charakterizace těchto vrstev byla provedena pomocí spektroskopické elipsometrie pod různými úhly dopadu a spektroskopické reflektometrie. V rámci optické charakterizace byly zjištěny tloušťky, spektrální závislosti indexu lomu a indexu absorpce, disperzní parametry a střední kvadratické odchylky výšek drsnosti rozhraní. Byly pozorovány nezanedbatelné odchylky mezi závislostmi tloušťek vrstev na době depozice určenými pomocí elipsometrie na jedné straně a závislostmi určenými pomocí reflektometrie na straně druhé. Tyto odchylky byly vysvětleny tím, že vrstvy vykazovaly i jiné defekty, které nebyly zahrnuty v jejich strukturním modelu. Byla rovněž pozorována citlivost optických parametrů vrstev na ozáření UV.
Links
| GD202/03/H162, research and development project |
| ||
| MSM0021622411, plan (intention) |
|