2006
Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepared by PECVD enhanced by RF induced DC self bias
BURŠÍKOVÁ, Vilma; Zdeněk FRGALA; Jiří BURŠÍK; Ondřej JAŠEK; Lenka ZAJÍČKOVÁ et al.Základní údaje
Originální název
Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepared by PECVD enhanced by RF induced DC self bias
Název česky
Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí
Autoři
BURŠÍKOVÁ, Vilma; Zdeněk FRGALA; Jiří BURŠÍK; Ondřej JAŠEK; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Monika KARÁSKOVÁ; Jiřina MATĚJKOVÁ; Antonín REK; Daniel FRANTA a Petr KLAPETEK
Vydání
1. vyd. Warsaw, E-MRS 2006 Fall meeting, od s. 14-14, 1 s. 2006
Nakladatel
EMRS
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Polsko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/06:00015918
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
83-89-585-09-X
Klíčová slova anglicky
nanostructures; composites; diamond films; PECVD; RF induced DC self bias voltage
Štítky
Změněno: 23. 10. 2006 18:12, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
V originále
Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepatred by PECVD enhanced by RF induced DC self bias
Česky
Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí
Návaznosti
| GA106/05/0274, projekt VaV |
| ||
| GA202/05/0607, projekt VaV |
|