2006
Nucleation and Precipitation of Interstitial Oxygen in Czochralski Silicon
ŠTOUDEK, Richard, Pavel KLANG, Alan KUBĚNA a Josef KUBĚNAZákladní údaje
Originální název
Nucleation and Precipitation of Interstitial Oxygen in Czochralski Silicon
Název česky
Nukleace a precipitace intersticiálního kyslíku v Czochralského křemíku
Autoři
ŠTOUDEK, Richard (203 Česká republika, garant), Pavel KLANG (203 Česká republika), Alan KUBĚNA (203 Česká republika) a Josef KUBĚNA (203 Česká republika)
Vydání
Rožnov pod Radhoštěm, Česká republika, Proceedings of The Tenth Scientific and Business Conference SILICON 2006, od s. 283-284, 2 s. 2006
Nakladatel
TECON Scientific, s.r.o.
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10302 Condensed matter physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/06:00017572
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
80-239-7781-4
Klíčová slova anglicky
Nucleation; Precipitation; Interstitial oxygen; Silicon; Infrared absorption
Změněno: 14. 11. 2006 14:36, Mgr. Richard Štoudek, Ph.D.
V originále
Infrared absorption spectroscopy has been applied to study interstitial oxygen (Oi) and oxygen precipitates in a series of multi-step annealed silicon samples. We have adopted Ham's theory of diffusion-limited precipitation. Then we have been able to determine concentration of the oxygen precipitates in the samples from decrease of Oi concentration during the high temperature annealing. We have also used triple-axis high-resolution x-ray diffraction to measure reciprocal space maps of these samples.
Česky
Ke studiu intersticiálního kyslíku a kyslíkových precipitátů v sérii vícestupňově žíhaných křemíkových vzorků jsme použili infračervenou absorpční spektroskopii. Převzali jsme Hamovu teorii difúzí řízené precipitace. Potom jsme mohli z úbytku koncentrace Oi během vysokoteplotního žíhání stanovit koncentraci kyslíkových precipitátů ve vzorcích. Pro naměření map reciprokého prostoru těchto vzorků jsme použili trojosou rtg difrakci s vysokým rozlišením.
Návaznosti
| MSM0021622410, záměr |
|