J 2006

IN-SITU INVESTIGATIONS OF SI AND GE INTERDIFFUSION IN SI CASCADE STRUCTURES

MEDUŇA, Mojmír, Jiří NOVÁK, Václav HOLÝ, Claudiu FALUB, Günther BAUER et. al.

Základní údaje

Originální název

IN-SITU INVESTIGATIONS OF SI AND GE INTERDIFFUSION IN SI CASCADE STRUCTURES

Název česky

In-situ studie Si a Ge interdifuse v Si kaskádových strukturách

Autoři

MEDUŇA, Mojmír (203 Česká republika, garant), Jiří NOVÁK (203 Česká republika), Václav HOLÝ (203 Česká republika), Claudiu FALUB (642 Rumunsko), Günther BAUER (40 Rakousko) a Detlev GRÜTZMACHER (276 Německo)

Vydání

Materials Structure in Chemistry, Biology, Physics and Technology, Praha, 2006, 1211-5894

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/06:00016353

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

x-ray diffraction; interdiffusion; SiGe

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 24. 1. 2007 15:03, Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.

Anotace

V originále

We have studied series of strain symmetrized multiple quantum well structures grown on Si0.25Ge0.25 and Si0.5Ge0.5 pseudosubstrates. The Ge content in these structures was 30% and 80% with multilayer periods in the range from 6 to 13 nm. X-ray reflectivity and diffraction reciprocal space maps for all structures have been recorded at room temperature and during annealing.

Česky

Studovali jsme sérii deformačně symetrizovaných struktur mnohonásobných kvantových jam vypěstovaných na Si0.25Ge0.25 a Si0.5Ge0.5 pseudosubstrátech. Obsah Ge v těchto strukturách byl 30% a 80% s periodami multivrstev v rozsahu od 6 do 13 nm. Reciproké mapy rtg reflexe a difrakce pro všechny struktury byly zaznamenány za pokojové teploty a během žíhání.

Návaznosti

GP202/05/P286, projekt VaV
Název: Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu
Investor: Grantová agentura ČR, Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu
MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur