2007
Spatially resolved optical diagnostics of neon RF discharge
NAVRÁTIL, Zdeněk, David TRUNEC, Radek ŠMÍD a Lukáš LAZARZákladní údaje
Originální název
Spatially resolved optical diagnostics of neon RF discharge
Název česky
Prostorově rozlišená optická diagnostika RF výboje v neonu
Autoři
NAVRÁTIL, Zdeněk (203 Česká republika), David TRUNEC (203 Česká republika, garant), Radek ŠMÍD (203 Česká republika) a Lukáš LAZAR (203 Česká republika)
Vydání
Bratislava, Book of Abstracts of 16th Symposium on Application of Plasma Processes, od s. 235-236, 2 s. 2007
Nakladatel
Comenius University, Bratislava
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Slovensko
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/07:00020161
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-808918613-6
Klíčová slova anglicky
neon RF discharge; optical emission spectroscopy; collisional-radiative model
Příznaky
Mezinárodní význam
Změněno: 5. 2. 2007 09:46, doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D.
V originále
Capacitively coupled RF discharge in neon (13.56 MHz) was studied by spatially resolved optical emission spectroscopy and collisional-radiative model. Two discharge regimes at different pressures (10 and 80 Pa) were investigated. The measured intensities of prominent neon spectral lines in conjunction with the model were used to determine the electron temperature.
Česky
Kapacitně vázaný RF výboj v neonu (13.56 MHz) byl studován prostorově rozlišenou optickou emisní spektroskopií a srážkově-radiačním modelem. Byly zkoumány dva režimy výboje při různých tlacích (10 a 80 Pa). Z měřených intenzit výrazných spektrálních čar neonu a srážkově-radiačního modelu byla stanovena teplota elektronů ve výboji.
Návaznosti
| GA202/06/0776, projekt VaV |
| ||
| GA202/06/1473, projekt VaV |
|