D 2006

Sheath resistance in RF discharges

DVOŘÁK, Pavel a Jan JANČA

Základní údaje

Originální název

Sheath resistance in RF discharges

Název česky

Odpor stěnové vrstvy ve vysokofrekvenčních výbojích

Autoři

DVOŘÁK, Pavel a Jan JANČA

Vydání

Itálie, Lecce, Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers of 18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases, od s. 299-300, 2 s. 2006

Nakladatel

European Physical Society

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Itálie

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/06:00016420

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

2-914771-38-X

Klíčová slova anglicky

sheath resistance discharge probe
Změněno: 28. 3. 2007 18:31, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Anotace

V originále

The sheath resistance in capacitively coupled discharge was studied. The nonlinearity of the sheath for dc current was proved, i.e. the sheath resistance depended on the dc current flowing through the sheath. It was shown, that the nonlinear behaviour can be used in some cases for the approximate evaluation of the plasma parameters, especially in the sheaths, where the interpretation of the Langmuir probe measurements is not reliable.

Česky

Příspěvek studuje odpor stěnové vrstvy v kapacitně vázaném výboji. Byla pozorována její nelinearita vzhledem ke stejnosměrnému proudu, tj. odpor stěnové vrstvy závisel na procházejícím stejnosměrném proudu. Nelineární chování stěnové vrstvy může být v některých případech využito k přibližnému určení parametrů plazmatu.

Návaznosti

GD202/03/H162, projekt VaV
Název: Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu
Investor: Grantová agentura ČR, Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek