2006
Sheath resistance in RF discharges
DVOŘÁK, Pavel a Jan JANČAZákladní údaje
Originální název
Sheath resistance in RF discharges
Název česky
Odpor stěnové vrstvy ve vysokofrekvenčních výbojích
Autoři
DVOŘÁK, Pavel a Jan JANČA
Vydání
Itálie, Lecce, Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers of 18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases, od s. 299-300, 2 s. 2006
Nakladatel
European Physical Society
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Itálie
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/06:00016420
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
2-914771-38-X
Klíčová slova anglicky
sheath resistance discharge probe
Změněno: 28. 3. 2007 18:31, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
V originále
The sheath resistance in capacitively coupled discharge was studied. The nonlinearity of the sheath for dc current was proved, i.e. the sheath resistance depended on the dc current flowing through the sheath. It was shown, that the nonlinear behaviour can be used in some cases for the approximate evaluation of the plasma parameters, especially in the sheaths, where the interpretation of the Langmuir probe measurements is not reliable.
Česky
Příspěvek studuje odpor stěnové vrstvy v kapacitně vázaném výboji. Byla pozorována její nelinearita vzhledem ke stejnosměrnému proudu, tj. odpor stěnové vrstvy závisel na procházejícím stejnosměrném proudu. Nelineární chování stěnové vrstvy může být v některých případech využito k přibližnému určení parametrů plazmatu.
Návaznosti
| GD202/03/H162, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|