2007
Analysis of the Transport of Ionized Titanium Atoms in a Highly Ionized Sputter Deposition Process
DE POUCQUES, Ludovic; Jean-Christophe IMBERT; Carolline BOISSE-LAPORTE; Jean BRETAGNE; Mihai GANCIU et al.Základní údaje
Originální název
Analysis of the Transport of Ionized Titanium Atoms in a Highly Ionized Sputter Deposition Process
Název česky
Studium transportu ionizovaných částic v pulzním IPVD procesu
Autoři
DE POUCQUES, Ludovic; Jean-Christophe IMBERT; Carolline BOISSE-LAPORTE; Jean BRETAGNE; Mihai GANCIU; Lionel TEULÉ-GAY; Petr VAŠINA a Michel TOUZEAU
Vydání
Plasma processes and polymers, Weinheim, Wiley-VCH, 2007, 1612-8850
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Článek v odborném periodiku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Spojené státy
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor
Impact factor: 2.132
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/07:00022169
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
UT WoS
Klíčová slova anglicky
ambipolar difussion; charged particle transport; high power pulsed; magnetron sputtering
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 27. 3. 2010 09:41, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
V originále
The paper study transport of ionized sputtered particles by means of time and space resolved optical absorption spectroscopy - we concluded that the transport is govern maainly by ambipolar difussion.
Česky
Studium transportu ionizovaných částic v pulzním IPVD procesu, článek
Návaznosti
| MSM0021622411, záměr |
|