J 2007

Interdiffusion in SiGe alloys studied by x-rays

MEDUŇA, Mojmír; Jiří NOVÁK; Günther BAUER; Václav HOLÝ; Claudiu FALUB et. al.

Základní údaje

Originální název

Interdiffusion in SiGe alloys studied by x-rays

Název česky

Interdifúze v SiGe slitinách studovaná pomocí rtg

Autoři

MEDUŇA, Mojmír; Jiří NOVÁK; Günther BAUER; Václav HOLÝ; Claudiu FALUB; Soichiro TSUJINO a Detlev GRÜTZMACHER

Vydání

Materials Structure in Chemistry, Biology, Physics and Technology, Praha, 2007, 1211-5894

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/07:00020385

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

x-ray reflectivity; interdiffusion; SiGe

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 31. 1. 2008 14:21, Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.

Anotace

V originále

We have investigated SiGe/Si multilayers annealed in-situ at temperatures in the range 780-830 C by x-ray diffraction. From the fits of reflectivity and diffraction we have obtained diffusion coeficients and activation energy for Ge content 50%.

Česky

Studovali jsme SiGe/Si multivrstvy žíhané in-situ při teplotách v rozsahu 780-830 C pomocí rtg difrakce. Z fitování reflexe a difrakce jsme obdrželi difúzní koeficienty a aktivační energie pro obsah Ge 50%.

Návaznosti

GP202/05/P286, projekt VaV
Název: Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu
Investor: Grantová agentura ČR, Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu
MSM0021622410, záměr
Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur