Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution
three-dimensional imaging of flat devices

J 2007

Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices

HELFEN, L.; A. MYAGOTIN; A. RACK; P. PERNOT; Petr MIKULÍK et al.

Základní údaje

Originální název

Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices

Název česky

Synchrotronová výpočetní laminografie pro 3D zobrazení plochých objektů s velkým rozlišením

Autoři

HELFEN, L.; A. MYAGOTIN; A. RACK; P. PERNOT; Petr MIKULÍK; M. DIMICHIEL a T. BAUMBACH

Vydání

Physica stat.sol.(a), 2007, 0031-8965

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10302 Condensed matter physics

Stát vydavatele

Nizozemské království

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 1.214

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/07:00022443

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000249065000040

Klíčová slova anglicky

imaging; laminography; tomography; synchrotron radiation

Štítky

imaging, laminography, synchrotron radiation, tomography

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

Změněno: 9. 8. 2007 09:31, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Synchrotron-radiation computed laminography (SRCL) is developed as a method for high-resolution three-dimensional (3D) imaging of regions of interest (ROIs) in all kinds of laterally extended devices. One of the application targets is the 3D X-ray inspection of microsystems. In comparison to computed tomography (CT), the method is based on the inclination of the tomographic axis with respect to the incident X-ray beam by a defined angle. With the microsystem aligned roughly perpendicular to the rotation axis, the integral X-ray transmission on the two-dimensional (2D) detector does not change exceedingly during the scan. In consequence, the integrity of laterally extended devices can be preserved, what distinguishes SRCL from CT where ROIs have to be destructively extracted (e.g. by cutting out a sample) before being imaged. The potential of the method for three-dimensional imaging of microsystem devices will be demonstrated by examples of flip-chip bonded and wire-bonded devices.

Česky

Synchrotronová výpočetní laminografie (SRCL) byla vyvinuta jako metoda pro 3D zobrazování s vysokým rozlišením pro oblasti v laterálně velkých objektech, například elektronických mikrosystémech. Ve srovnání s počítačovou tomografií (CT) využívá SRCL nakloněné osy rotace vzhledem k dopadajícímu záření. Potenciál metody je demonstrován na příkladech studia kontaktovaných elektronických čipů.

Návaznosti

MSM0021622410, záměr

Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur

Citovat

HELFEN, L.; A. MYAGOTIN; A. RACK; P. PERNOT; Petr MIKULÍK; M. DIMICHIEL a T. BAUMBACH. Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices. Physica stat.sol.(a). 2007, roč. 204, č. 8, s. 2760-2765. ISSN 0031-8965.

@article{721594,
   author = {Helfen, L. and Myagotin, A. and Rack, A. and Pernot, P. and Mikulík, Petr and DiMichiel, M. and Baumbach, T.},
   article_number = {8},
   keywords = {imaging; laminography; tomography; synchrotron radiation},
   language = {eng},
   issn = {0031-8965},
   journal = {Physica stat.sol.(a)},
   title = {Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices},
   url = {http://sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#HelfenMyagotinRack-pss-2007},
   volume = {204},
   year = {2007}
}

TY  - JOUR
ID  - 721594
AU  - Helfen, L. - Myagotin, A. - Rack, A. - Pernot, P. - Mikulík, Petr - DiMichiel, M. - Baumbach, T.
PY  - 2007
TI  - Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices
JF  - Physica stat.sol.(a)
VL  - 204
IS  - 8
SP  - 2760-2765
EP  - 2760-2765
SN  - 00318965
KW  - imaging
KW  - laminography
KW  - tomography
KW  - synchrotron radiation
UR  - http://sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#HelfenMyagotinRack-pss-2007
N2  - Synchrotron-radiation computed laminography (SRCL) is developed as a method for high-resolution three-dimensional (3D) imaging of regions of interest (ROIs) in all kinds of laterally extended devices. One of the application targets is the 3D X-ray inspection of microsystems. In comparison to computed tomography (CT), the method is based on the inclination of the tomographic axis with respect to the incident X-ray beam by a defined angle. With the microsystem aligned roughly perpendicular to the rotation axis, the integral X-ray transmission on the two-dimensional (2D) detector does not change exceedingly during the scan. In consequence, the integrity of laterally extended devices can be preserved, what distinguishes SRCL from CT where ROIs have to be destructively extracted (e.g. by cutting out a sample) before being imaged. The potential of the method for three-dimensional imaging of microsystem devices will be demonstrated by examples of flip-chip bonded and wire-bonded devices.
ER  -

HELFEN, L.; A. MYAGOTIN; A. RACK; P. PERNOT; Petr MIKULÍK; M. DIMICHIEL a T. BAUMBACH. Synchrotron-radiation computed laminography for high-resolution three-dimensional imaging of flat devices. \textit{Physica stat.sol.(a)}. 2007, roč.~204, č.~8, s.~2760-2765. ISSN~0031-8965.

Přehled o publikaci