2007
Study of Mechanical Properties of NCD Coatings
BURŠÍKOVÁ, Vilma, Jiří BURŠÍK, Monika KARÁSKOVÁ, Ondřej JAŠEK, Lenka ZAJÍČKOVÁ et. al.Základní údaje
Originální název
Study of Mechanical Properties of NCD Coatings
Název česky
Studium mechanických vlastností NCD vrstev
Autoři
BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Česká republika, garant), Jiří BURŠÍK (203 Česká republika), Monika KARÁSKOVÁ (203 Česká republika), Ondřej JAŠEK (203 Česká republika), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika), Daniel FRANTA (203 Česká republika), Petr KLAPETEK (203 Česká republika) a Olga BLÁHOVÁ (203 Česká republika)
Vydání
1. vyd. Rožnov pod Radhoštěm, VI. ročník konferencie Vrstvy a povlaky 2007, od s. 1-4, 4 s. 2007
Nakladatel
Liss a.s.
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/07:00020900
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-80-969310-4-0
Klíčová slova anglicky
Mechanical Properties; NCD Coatings;
Štítky
Změněno: 8. 2. 2008 08:02, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
V originále
The aim of the present paper was to deposit nanocrystalline diamond (NCD) films with low surface roughness, high hardness and fracture toughness by microwave PECVD in the ASTEX type reactor from mixture of methane and hydrogen. The diamond nucleation process was enhanced by RF induced dc self bias of minus 125 V. The interfacial fracture toughness substantially depended on the process of RF induced dc self-bias application. In case of samples when the RF induced dc self-bias was applied after the introduction of methane into the deposition mixture the interfacial fracture toughness was substantially higher becauseof creation of amorphous carbon intermediate layer between the silicon substrate and the nanocrystalline film.
Česky
Byly připraveny nanokompozitní diamantové vrstvy (NCD) pomocí mikrovlnné PECVD doplněné RF indukovaným stejnosměrným záporným předpětím v reaktoru typu ASTEX. Lomová houževnatost rozhraní vrstva substrát se ukázala být závislá na způsobu přiložení RF indukovaného stejnosměrného záporného předpětí. V případě vrstev, kdy toto předpětí bylo aplikováno až po zavedení metanu do depoziční směsi, vzorky měly podstatně vyšší lomovou houževnatost díky vytvoření amorfní uhlíkové mezivrstvy vylepšující adhezi vrstvy ke křemíkovému substrátu.
Návaznosti
| GA106/05/0274, projekt VaV |
| ||
| GA202/05/0607, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|