OHLÍDAL, Ivan a David NEČAS. Influence of shadowing on ellipsometric quantities of randomly rough surfaces and thin films. Journal of modern optics. Londýn: Taylor & Francis Ltd., 2008, roč. 55, č. 7, s. 1077-1099. ISSN 0950-0340.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Influence of shadowing on ellipsometric quantities of randomly rough surfaces and thin films
Název česky Vliv stínění na elipsometrické veličiny náhodně drsných povrchů a tenkých vrstev
Autoři OHLÍDAL, Ivan (203 Česká republika, garant) a David NEČAS (203 Česká republika).
Vydání Journal of modern optics, Londýn, Taylor & Francis Ltd. 2008, 0950-0340.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10306 Optics
Stát vydavatele Velká Británie a Severní Irsko
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 1.062
Kód RIV RIV/00216224:14310/08:00026336
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000256763900005
Klíčová slova anglicky ellipsometry; rough surfaces; rough films; shadowing; scalar diffraction theory
Štítky ellipsometry, rough films, rough surfaces, scalar diffraction theory, shadowing
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: Mgr. David Nečas, Ph.D., učo 19972. Změněno: 1. 9. 2008 15:29.
Anotace
The formulae enabling us to calculate the values of the ellipsometric parameters of randomly rough surfaces and very thin films with randomly rough boundaries with respect to the influence of the shadowing between the irregularities of roughness are presented. These formulae are derived within the scalar diffraction theory of light. The first formula allows the calculation of the ellipsometric parameters using a numerical method, while the second formula is the approximative one but it expresses the ellipsometric parameters in a closed form. The numerical analysis of both formulae is performed for several examples of randomly rough surfaces and thin films. Moreover, the comparison of the results achieved using both formulae respecting the shadowing and an earlier formula not including this effect is performed. The experimental data of two samples of the randomly rough silicon surfaces covered with very thin surface layers are interpreted using all the formulae mentioned. Using this experimental study, the correctness of both formulae taking into account the shadowing, is confirmed.
Anotace česky
Jsou presentovány vzorce umozňující nám vypočíst hodnoty elipsometrických parametrů náhodně drsných povrchů a tenkých vrstev s náhodně drsnými rozhraními s ohledem na vliv stínění mezi nerovnostmi drsnosti. Tyto vzorce jsou odvozeny v rámci skalární difrakční teorie světla. První vzorec umožňje výpočet elipsometrických parametrů pomocí numerických metod, zatímco druhá formule je přibližná, ale vyjadřuje elipsometrické parametry v uzavřeném tvaru. Oba vzorce jsou numericky zkoumány na několika příkladech drsných povrchů a tenkých vrstev. Navíc jsou porovnány výsledky dosažené s použitím obou vzorců beroucích v úvahu stínění s výsledky dřívějších vzorců, které tento jev v úvahu neberou. Pomocí všech vzorců jsou vyhodnocena experimentální data dvou vzorků náhodně drsného povrchu křemíku pokrytého velmi tenkou povrchovou vrstvou. Touto experimentální studií je potvrzena správnost obou vzorců započítávajících stínění.
Návaznosti
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 17. 7. 2024 21:45