Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD

KELAR, Lukáš, Vilma BURŠÍKOVÁ a Zdeněk BOCHNÍČEK. Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD. In CESPC II - Book of extended abstracts. Brno, Czech Republic: Masaryk University, Brno, 2008, s. 106-107.

Základní údaje

• Originální název: Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD
• Název česky: Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD
• Autoři: KELAR, Lukáš, Vilma BURŠÍKOVÁ a Zdeněk BOCHNÍČEK.
• Vydání: Brno, Czech Republic, CESPC II - Book of extended abstracts, od s. 106-107, 2 s. 2008.
• Nakladatel: Masaryk University, Brno

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Stať ve sborníku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• UT WoS: 000208452600039
• Klíčová slova anglicky: carbon films ;PECVD
• Štítky: carbon films, PECVD

Anotace

Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD

Anotace česky

Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD

Návaznosti

• GA106/05/0274, projekt VaV: Název: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů

Investor: Grantová agentura ČR, Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů

• GA202/07/1669, projekt VaV: Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích

Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích

• MSM0021622411, záměr: Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek