D 2008

Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD

KELAR, Lukáš, Vilma BURŠÍKOVÁ a Zdeněk BOCHNÍČEK

Základní údaje

Originální název

Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD

Název česky

Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD

Autoři

Vydání

Brno, Czech Republic, CESPC II - Book of extended abstracts, od s. 106-107, 2 s. 2008

Nakladatel

Masaryk University, Brno

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000208452600039

Klíčová slova anglicky

carbon films ;PECVD

Štítky

Změněno: 12. 9. 2008 16:49, Mgr. Lukáš Kelar

Anotace

ORIG CZ

V originále

Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD

Česky

Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD

Návaznosti

GA106/05/0274, projekt VaV
Název: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
Investor: Grantová agentura ČR, Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
GA202/07/1669, projekt VaV
Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek