Fundamental principles of optical lithography : the science of
microfabrication

Přeskočit na horní lištu Přeskočit na hlavičku Přeskočit na obsah Přeskočit na patičku

Publikace Přehled o publikaci

Přehled o publikaci

2007

Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication

MACK, Chris A.

Základní údaje

Originální název

Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication

Autoři

MACK, Chris A.

Vydání

Hoboken, NJ, xvii, 515, 2007

Nakladatel

Wiley

Další údaje

ISBN

9780470727300

Změněno: 17. 7. 2023 04:51, Záznam byl importován z knihovního systému.

MACK, Chris A. Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication. Hoboken, NJ: Wiley, 2007, xvii, 515. ISBN 9780470727300.

@article{,
   author = {Mack, Chris A.},
   address = {Hoboken, NJ},
   location = {Hoboken, NJ},
   isbn = {9780470727300},
   publisher = {Wiley},
   title = {Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication},
   year = {2007}
}

TY  - JOUR
AU  - Mack, Chris A.
PY  - 2007
TI  - Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication
PB  - Wiley
CY  - Hoboken, NJ
SN  - 9780470727300
ER  -

MACK, Chris A. \textit{Fundamental principles of optical lithography : the science of microfabrication}. Hoboken, NJ: Wiley, 2007, xvii, 515. ISBN~9780470727300.