D 2008

Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma

DVOŘÁK, Pavel a Zdeněk MORAVEC

Základní údaje

Originální název

Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma

Název česky

Vyšší harmonické frekvence měřené v kapacitně vázaném plazmatu

Autoři

DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant) a Zdeněk MORAVEC (203 Česká republika)

Vydání

Brno, 2nd CESPC - Book of extended abstracts, s. 74-74, 2008

Nakladatel

Ústav fyzikální elektroniky (PřF MU), JČM

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/08:00027077

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

plasma; higher harmonics

Štítky

Změněno: 22. 12. 2008 11:27, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Measurement of higher harmonic frequencies in low-pressure capacitive discharge and dependence of their amplitudes on the matching unit parameters.

Česky

Měření vyšších harmonických frekvencí v nízkotlakém kapacitně vázaném výboji a závislost jejich amplitud na parametrech přizpůsobovacího členu.

Návaznosti

MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek