2008
NUCLEATION AND PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF ULTRANANOCRYSTALLINE DIAMOND FILMS ON DIFFERENT SUBSTRATES
KARÁSKOVÁ, Monika; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Vilma BURŠÍKOVÁ; Ondřej JAŠEK; Daniel FRANTA et al.Základní údaje
Originální název
NUCLEATION AND PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF ULTRANANOCRYSTALLINE DIAMOND FILMS ON DIFFERENT SUBSTRATES
Název česky
Nukleace a růst ultrananokrystalických diamantových vrstev metodou PEVCD na různých substrátech
Autoři
KARÁSKOVÁ, Monika; Lenka ZAJÍČKOVÁ; Vilma BURŠÍKOVÁ; Ondřej JAŠEK; Daniel FRANTA; Jiřina MATĚJKOVÁ a Petr KLAPETEK
Vydání
1. vyd. Brno, CESPC II Book Of Extended Abstracts, od s. 159-160, 2 s. 2008
Nakladatel
Masarykova Univerzita
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Označené pro přenos do RIV
Ano
Kód RIV
RIV/00216224:14310/08:00024394
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky
ultrananocrystalline diamond; PECVD; nucleation
Štítky
Příznaky
Mezinárodní význam
Změněno: 12. 1. 2009 17:26, Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
V originále
Ultrananocrystalline diamond (UNCD) films were deposited in microwave bell jar plasma reactor of ASTeX type. The applied mw power, pressure and substrate temperature were from 800 to 950 W, 7.5 kPa and from 1000 to 1100K. The deposition mixture were from 2 to 9.4 percent of methane in methane/hydrogen gas feed. Reactor was modified by rf capacitive discharge providing a negative dc self bias -125V at the substrate holder, for using bias enhanced nucleation (BEN) methode as a pretreatement method. The mechanical properties were studied by depth sensing indentation technique using FISHERSCOPE H100 XYp, the surface morphology of the deposited films was studied by atomic force microscopy (AFM) and scanning electron microscopy (SEM).The UNCD films exhibited high hardness of 70 GPa, elastic modulus of 375 GPa and very low roughness in the range from 9 to 18 nm.
Česky
Ultrananokrystalické diamantové vrstvy byly připraveny v reaktoru ASTEX ze směsi metan vodík za pomoci nukleace metodou BEN. Mechanické vlastnosti byly zkoumány pomocí nanoidentace na přístroji FISHERSCOPE H100 XYp a morfologie vrstev byla zkoumána metodami AFM a SEM.
Návaznosti
| GA202/05/0607, projekt VaV |
| ||
| KAN311610701, projekt VaV |
| ||
| MSM0021622411, záměr |
|