a 2008

Study of thermal stability of Silicon, Oxygen and/or Nitrogen containing Diamon-like Carbon coatings

BURSIKOVA, Vilma, Pavel STAHEL, Jaroslav SOBOTA, Jan GROSSMAN, Tomas FORT et. al.

Základní údaje

Originální název

Study of thermal stability of Silicon, Oxygen and/or Nitrogen containing Diamon-like Carbon coatings

Název česky

Study of thermal stability of Silicon, Oxygen and/or Nitrogen containing Diamon-like Carbon coatings

Autoři

BURSIKOVA, Vilma, Pavel STAHEL, Jaroslav SOBOTA, Jan GROSSMAN, Tomas FORT, Zdenek BOCHNICEK, Petr KLAPETEK, Jiri BURSIK a Vratislav PERINA

Vydání

2nd conference on New Diamond and Nano Carbons 2008, 2008

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Tchaj-wan

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

Study; thermal stability; Silicon; Oxygen; Nitrogen; Diamon-like Carbon coatings

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 13. 1. 2009 14:39, Mgr. Adrian Stoica, Ph.D.

Anotace

V originále

The thermomechanical stability of diamond-like protective (DLC) films play a crucial role for their technological application and its study is of great importance. The main disadvantages of amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) films prepared using PECVD are their low thermomechanical stability (due to hydrogen loss and graphitization at temperatures exceeding 300 C). After achieving this temperature the thermal degradation process starts due to the graphitization caused by hydrogen losses.

Česky

The thermomechanical stability of diamond-like protective (DLC) films play a crucial role for their technological application and its study is of great importance. The main disadvantages of amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) films prepared using PECVD are their low thermomechanical stability (due to hydrogen loss and graphitization at temperatures exceeding 300 C). After achieving this temperature the thermal degradation process starts due to the graphitization caused by hydrogen losses.

Návaznosti

GA202/07/1669, projekt VaV
Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích