a 2008

Nanoindentation studies on amorphous carbon films prepared using plasma enchanced chemical vapor deposition

BURSIKOVA, Vilma; Miroslav VALTR; Petr KLAPETEL; Jiri BURSIK; Olga BLAHOVA et al.

Základní údaje

Originální název

Nanoindentation studies on amorphous carbon films prepared using plasma enchanced chemical vapor deposition

Název česky

Nanoindentation studies on amorphous carbon films prepared using plasma enchanced chemical vapor deposition

Autoři

BURSIKOVA, Vilma; Miroslav VALTR; Petr KLAPETEL; Jiri BURSIK; Olga BLAHOVA a Ivan OHLIDAL

Vydání

2008

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Tchaj-wan

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ne

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

Nanoindentation; amorphous carbon films; plasma enchanced chemical vapor deposition

Štítky

Příznaky

Mezinárodní význam
Změněno: 13. 1. 2009 15:06, Mgr. Adrian Stoica, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

In the past two decades, there is a great industrial interest in preparation of amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) thin films in a wide range of applications such as nanoelectronics, optical devices, integrated digital circuits, micro-electromechanical devices (MEMs), biomedical coatings, etc. The mechanical properties such as hardness, wear resistance, fracture toughness, film-substrate adhesion, thermo-mechanical stability of the coating-substrate system play always a crucial role for industrial applications of the films.

Česky

In the past two decades, there is a great industrial interest in preparation of amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) thin films in a wide range of applications such as nanoelectronics, optical devices, integrated digital circuits, micro-electromechanical devices (MEMs), biomedical coatings, etc. The mechanical properties such as hardness, wear resistance, fracture toughness, film-substrate adhesion, thermo-mechanical stability of the coating-substrate system play always a crucial role for industrial applications of the films.

Návaznosti

GA202/07/1669, projekt VaV
Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
KAN311610701, projekt VaV
Název: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
Investor: Akademie věd ČR, Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie