Nanoindentation studies on amorphous carbon films prepared using plasma enchanced chemical vapor ...
BURSIKOVA, Vilma, Miroslav VALTR, Petr KLAPETEL, Jiri BURSIK, Olga BLAHOVA a Ivan OHLIDAL. Nanoindentation studies on amorphous carbon films prepared using plasma enchanced chemical vapor deposition. 2008. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Nanoindentation studies on amorphous carbon films prepared using plasma enchanced chemical vapor deposition |
Název česky | Nanoindentation studies on amorphous carbon films prepared using plasma enchanced chemical vapor deposition |
Autoři | BURSIKOVA, Vilma, Miroslav VALTR, Petr KLAPETEL, Jiri BURSIK, Olga BLAHOVA a Ivan OHLIDAL. |
Vydání | 2008. |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Konferenční abstrakt |
Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
Stát vydavatele | Tchaj-wan |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
Klíčová slova anglicky | Nanoindentation; amorphous carbon films; plasma enchanced chemical vapor deposition |
Štítky | amorphous carbon films, Nanoindentation |
Příznaky | Mezinárodní význam |
Změnil | Změnil: Mgr. Adrian Stoica, Ph.D., učo 250983. Změněno: 13. 1. 2009 15:06. |
Anotace |
---|
In the past two decades, there is a great industrial interest in preparation of amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) thin films in a wide range of applications such as nanoelectronics, optical devices, integrated digital circuits, micro-electromechanical devices (MEMs), biomedical coatings, etc. The mechanical properties such as hardness, wear resistance, fracture toughness, film-substrate adhesion, thermo-mechanical stability of the coating-substrate system play always a crucial role for industrial applications of the films. |
Anotace česky |
---|
In the past two decades, there is a great industrial interest in preparation of amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) thin films in a wide range of applications such as nanoelectronics, optical devices, integrated digital circuits, micro-electromechanical devices (MEMs), biomedical coatings, etc. The mechanical properties such as hardness, wear resistance, fracture toughness, film-substrate adhesion, thermo-mechanical stability of the coating-substrate system play always a crucial role for industrial applications of the films. |
Návaznosti | |
---|---|
GA202/07/1669, projekt VaV | Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích |
Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích | |
KAN311610701, projekt VaV | Název: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie |
Investor: Akademie věd ČR, Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie |
VytisknoutZobrazeno: 21. 9. 2024 01:30