Modeling of reactive magnetron sputtering deposition process - different target utilization, situation when O2 and H2 are added simultaneously

VAŠINA, Petr a Tereza SCHMIDTOVÁ. Modeling of reactive magnetron sputtering deposition process - different target utilization, situation when O2 and H2 are added simultaneously. In Proceeding of 19th International Symposium on Plasma Chemistry. 2009.

Základní údaje

• Originální název: Modeling of reactive magnetron sputtering deposition process - different target utilization, situation when O2 and H2 are added simultaneously
• Název česky: Modelování magnetronového naprašování - různé využití terče, situace s dvěma reaktivními plyny
• Autoři: VAŠINA, Petr (203 Česká republika, garant, domácí) a Tereza SCHMIDTOVÁ (203 Česká republika, domácí).
• Vydání: Proceeding of 19th International Symposium on Plasma Chemistry, 2009.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Konferenční abstrakt
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Německo
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/09:00049601
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• Klíčová slova česky: reaktivní naprašování
• Klíčová slova anglicky: reactive magnetron sputering; target; modeling
• Štítky: IK, rivok

Anotace

Modeling of reactive magnetron sputtering deposition process - different target utilization, situation when O2 and H2 are added simultaneously, proceeding

Anotace česky

Modelování magnetronového naprašování - různé využití terče, situace s dvěma reaktivními plyny, sborník

Návaznosti

• GP202/08/P038, projekt VaV: Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev

Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev

• MSM0021622411, záměr: Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek