D 2006

Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope

MÜLLEROVÁ, Ilona; Ivo KONVALINA a Zuzana POKORNÁ

Základní údaje

Originální název

Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope

Název česky

Snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů v rastrovacím nízkoenergiovém elektronovém mikroskopu

Autoři

Vydání

Toyama, 2 s. 2006

Nakladatel

University of Toyama

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

20201 Electrical and electronic engineering

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Označené pro přenos do RIV

Ne

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

4-9903248-0-3

Klíčová slova anglicky

SLEEM; cathode lens; multichannel detector; angular distribution; BSE detection
Změněno: 2. 8. 2010 14:09, Mgr. Zuzana Pokorná, Ph.D.

Anotace

V originále

New eight-channel detector for acquisition of the angular distribution of backscattered electrons has been designed and tested. The detector is based on a multi-channel plate followed by eight concentric circular collectors centred to the optical axis. High collection efficiency and high amplification of the detector down to 100 eV of emission energy is secured by action of the cathode lens. In first experiments the detector has proved itself useful for imaging of polycrystalline structures.

Česky

Byl navržen a odzkoušen nový osmikanálový detektor pro snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů. Detektor je založen na kanálkové destičce, za níž je symetricky vůči optické ose umístěno osm soustředných kruhových detektorů. Vysoká sběrová účinnost a vysoké zesílení detektoru až do 100 eV emisní energie je zajištěno působením katodové čočky. Již v prvních experimentech se detektor osvědčil jako užitečný pro zobrazení polykrystalických struktur.

Návaznosti

GA102/05/2327, projekt VaV
Název: Přímé zobrazení rozložení dopantů v polovodiči pomocí pomalých elektronů