D 2010

Deposition and characterization of nc-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD

SOUČEK, Pavel; Abdelazziz EL MEL; Pierre-Yves TESSIER; Marek ELIÁŠ; Vilma BURŠÍKOVÁ et al.

Základní údaje

Originální název

Deposition and characterization of nc-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD

Název česky

Depozice a charakterizace nc-TiC/a-C:H povlaků připravených hybridním PVD-PECVD

Autoři

SOUČEK, Pavel; Abdelazziz EL MEL; Pierre-Yves TESSIER; Marek ELIÁŠ; Vilma BURŠÍKOVÁ a Petr VAŠINA

Vydání

1. edition. Liberec, Potencial and Application of Nanotreatment of Medical Surfaces, od s. 63-64, 2 s. 2010

Nakladatel

Technical University of Liberec

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Forma vydání

tištěná verze "print"

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/10:00044661

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-7372-631-7

Klíčová slova česky

magnetronové naprašování; povlak; nanokompozit; mechanické vlastnosti

Klíčová slova anglicky

magnetron sputtering; coating; nanocomposite; mechanical properties
Změněno: 6. 3. 2014 10:54, prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Anotace

V originále

Several micrometers thick nc-TiC/a-C:H films were prepared by sputtering of the Ti target in a mixture of argon and acetylene gases. Polished steel substrates were used to come close to industrial conditions of usage of such films. The initial temperature of the steel substrates was found to have a significant impact on the quality of the deposited nc-TiC/a-C:H films.

Česky

Rozprašováním titanového terče ve směsi argonu a acetylenu byly připraveny několik mikrometrů tlusté nc-TiC/a-C:H vrstvy. Pro přiblížení se průmyslovým podmínkám využití těchto vrstev byly použity leštěné ocelové substráty. Byl pozorován silný vliv počáteční teploty ocelových substrátů na výslednou kvalitu nc-TiC/a-C:H vrstev.

Návaznosti

GP202/08/P038, projekt VaV
Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek