Strategies for Collection of Secondary Electrons in the SEM

KONVALINA, Ivo; Miloš HOVORKA; Petr WANDROL; Filip MIKA a Ilona MÜLLEROVÁ. Strategies for Collection of Secondary Electrons in the SEM. 2007.

Základní údaje

Originální název

Strategies for Collection of Secondary Electrons in the SEM

Autoři

KONVALINA, Ivo; Miloš HOVORKA; Petr WANDROL; Filip MIKA a Ilona MÜLLEROVÁ

Vydání

2007

---

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

20201 Electrical and electronic engineering

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Označené pro přenos do RIV

Ne

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

collection efficiency, secondary electrons, ET detector, magnetic field

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

---

Anotace

V originále

The standard way of secondary electron (SE) detection in the scanning electron microscope (SEM) is to use the Everhart-Thornley (ET) detector. Only weak electrostatic field attracts low energy SEs. Let us call this system the standard detector. Although the ET detector has been around for more than fifty years, it remains the most frequently used type of detector in SEMs. Modern SEMs have improved their image resolution by so called immersion systems, allowing a strong magnetic field of the objective lens to penetrate into the specimen region. In that case, two ET detectors are usually used: one is located above the objective lens, and the other below it (upper and lower detector). The resulting contrast of the SE images depends on SE energy and on the angular sensitivity of detectors, which is a result of specific distributions of electrostatic and magnetic fields in the specimen region.