J 2010

Monitoring of magnetron target poisoning by measurement of higher harmonics of discharge voltages

DVOŘÁK, Pavel a Petr VAŠINA

Základní údaje

Originální název

Monitoring of magnetron target poisoning by measurement of higher harmonics of discharge voltages

Název česky

Sledování stavu otrávení magnetronového terče pomocí vyšších harmonik výbojových napětí

Autoři

Vydání

Plasma Sources Sci. Technol. IOP Publishing, 2010, 0963-0252

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Velká Británie a Severní Irsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impakt faktor

Impact factor: 2.218

Označené pro přenos do RIV

Ano

Kód RIV

RIV/00216224:14310/10:00044824

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

Klíčová slova česky

plazma; vyšší harmonické frekvence; reaktivní magnetronové naprašování

Klíčová slova anglicky

plasma; higher harmonic frequencies; reactive magnetron sputtering

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 3. 1. 2011 11:21, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

A promising method for monitoring of reactive magnetron sputtering, based on the measurement of amplitudes of higher harmonic frequencies of discharge voltages, is proposed. The measurement of the amplitudes can be performed either by an uncompensated probe in the plasma or on the cable between the RF generator and the sputtered target. The sensitivity of the proposed method is significantly better than measurement of other electrical quantities conventionally used for process control. Physical reasons for the change of amplitudes of higher harmonic frequencies during the mode transition were found. The paper shows that the observed changes in amplitudes of higher harmonics by the transition are not caused either by the pressure change, or by the changes in the composition of the gas in the reactor volume. It was found that the amplitudes of higher harmonics reflect primarily the state of the magnetron target poisoning.

Česky

Monitorování tvorby otrávené vrstvy na povrchu magnetronového terče pomocí vyšších harmonických frekvencí výbojových napětí a testování fyzikálních důvodů pro reakci vyšších harmonik na přechod mezi kovovým a otráveným režimem.

Návaznosti

GP202/08/P038, projekt VaV
Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek