DVOŘÁK, Pavel a Petr VAŠINA. Monitoring of magnetron target poisoning by measurement of higher harmonics of discharge voltages. Plasma Sources Sci. Technol., IOP Publishing, 2010, roč. 19, č. 5, s. 055016-55023. ISSN 0963-0252.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Monitoring of magnetron target poisoning by measurement of higher harmonics of discharge voltages
Název česky Sledování stavu otrávení magnetronového terče pomocí vyšších harmonik výbojových napětí
Autoři DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant) a Petr VAŠINA (203 Česká republika).
Vydání Plasma Sources Sci. Technol. IOP Publishing, 2010, 0963-0252.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Článek v odborném periodiku
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Spojené království
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Impakt faktor Impact factor: 2.218
Kód RIV RIV/00216224:14310/10:00044824
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
UT WoS 000282096600016
Klíčová slova česky plazma; vyšší harmonické frekvence; reaktivní magnetronové naprašování
Klíčová slova anglicky plasma; higher harmonic frequencies; reactive magnetron sputtering
Příznaky Mezinárodní význam, Recenzováno
Změnil Změnil: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D., učo 16711. Změněno: 3. 1. 2011 11:21.
Anotace
A promising method for monitoring of reactive magnetron sputtering, based on the measurement of amplitudes of higher harmonic frequencies of discharge voltages, is proposed. The measurement of the amplitudes can be performed either by an uncompensated probe in the plasma or on the cable between the RF generator and the sputtered target. The sensitivity of the proposed method is significantly better than measurement of other electrical quantities conventionally used for process control. Physical reasons for the change of amplitudes of higher harmonic frequencies during the mode transition were found. The paper shows that the observed changes in amplitudes of higher harmonics by the transition are not caused either by the pressure change, or by the changes in the composition of the gas in the reactor volume. It was found that the amplitudes of higher harmonics reflect primarily the state of the magnetron target poisoning.
Anotace česky
Monitorování tvorby otrávené vrstvy na povrchu magnetronového terče pomocí vyšších harmonických frekvencí výbojových napětí a testování fyzikálních důvodů pro reakci vyšších harmonik na přechod mezi kovovým a otráveným režimem.
Návaznosti
GP202/08/P038, projekt VaVNázev: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Postdoktorské projekty
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Výzkumné záměry
VytisknoutZobrazeno: 26. 2. 2020 10:08